Il materiale dello strato epitassiale di carburo di silicio è il carburo di silicio, che viene solitamente utilizzato per produrre dispositivi elettronici e LED ad alta potenza. È ampiamente utilizzato nell'industria dei semiconduttori grazie alla sua eccellente stabilità termica, resistenza meccanica ed elevata conduttività elettrica.
Elevata purezza: lo strato epitassiale di silicio cresciuto mediante deposizione chimica in fase vapore (CVD) ha una purezza estremamente elevata, una migliore planarità superficiale e una densità di difetti inferiore rispetto ai wafer tradizionali.
Il carburo di silicio solido ha proprietà eccellenti come stabilità alle alte temperature, elevata durezza, buona resistenza all'abrasione e buona stabilità chimica, quindi ha un'ampia gamma di applicazioni. Di seguito sono riportate alcune applicazioni del carburo di silicio solido: