Disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di dischi di rotazione planetaria rivestiti in carburo di tantalio in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento ceramico da molti anni. I nostri prodotti hanno un'elevata purezza e resistenza alle alte temperature. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Descrizione del prodotto

Disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio di alta qualità è offerto dal produttore cinese VeTek Semiconductor. Acquista il disco di rotazione planetaria rivestito in carburo di tantalio di alta qualità direttamente a un prezzo basso.

Il disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio è un accessorio progettato per il sistema MOCVD AIXTRON G10, con l'obiettivo di migliorare l'efficienza e la qualità nella produzione di semiconduttori. Realizzato con materiali di alta qualità e prodotto con precisione, il disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio offre prestazioni e affidabilità eccezionali per i processi MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition).

Il disco planetario è costruito utilizzando un substrato di grafite rivestito con CVD TaC, che fornisce eccellente stabilità termica, elevata purezza e resistenza alle alte temperature.

Personalizzabile per ospitare diverse dimensioni di wafer semiconduttori, il disco planetario è adatto a varie esigenze di produzione. La sua struttura robusta è progettata specificamente per resistere alle impegnative condizioni operative del sistema MOCVD, garantendo prestazioni di lunga durata e riducendo al minimo i tempi di inattività e i costi di manutenzione associati ai supporti wafer e ai suscettori.

Con il disco planetario, il sistema AIXTRON G10 MOCVD può raggiungere una maggiore efficienza e risultati superiori nella produzione di semiconduttori. La sua eccezionale stabilità termica, compatibilità con diverse dimensioni di wafer e prestazioni affidabili lo rendono uno strumento essenziale per ottimizzare l'efficienza produttiva e ottenere risultati eccezionali nel difficile ambiente MOCVD.

Parametro del prodotto del disco di rotazione planetaria rivestito in carburo di tantalio

Proprietà fisiche del rivestimento TaC
Densità	14,3 (g/cm³)
Emissività specifica	0.3
Coefficiente di dilatazione termica	6.3 10-6/K
Durezza (HK)	2000 Hong Kong
Resistenza	1×10-5Ohm*cm
Stabilità termica	<2500 ℃
La dimensione della grafite cambia	-10~-20um
Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Panoramica della catena industriale dell'epitassia dei chip semiconduttori:

Negozio di produzione di semiconduttori VeTek

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