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Cina Rivestimento in carburo di tantalio Produttore, fornitore, fabbrica

VeTek semiconductor è un produttore leader di materiali di rivestimento in carburo di tantalio per l'industria dei semiconduttori. La nostra offerta di prodotti principali comprende parti di rivestimento in carburo di tantalio CVD, parti di rivestimento in TaC sinterizzato per la crescita dei cristalli SiC o il processo di epitassia dei semiconduttori. Superato ISO9001, VeTek Semiconductor ha un buon controllo sulla qualità. VeTek Semiconductor si impegna a diventare innovatore nel settore del rivestimento in carburo di tantalio attraverso la ricerca continua e lo sviluppo di tecnologie iterative.

I prodotti principali sono l'anello deflettore con rivestimento in carburo di tantalio, l'anello di diversione rivestito in TaC, le parti a mezzaluna rivestite in TaC, il disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio (Aixtron G10), il crogiolo rivestito in TaC; Anelli rivestiti in TaC; Grafite porosa rivestita in TaC; Suscettore in grafite con rivestimento in carburo di tantalio; Anello guida rivestito in TaC; Piastra rivestita in carburo di tantalio TaC; Suscettore wafer rivestito in TaC; Anello di rivestimento TaC; Copertura in grafite con rivestimento TaC; TaC Coated Chunk ecc., la purezza è inferiore a 5 ppm, può soddisfare le esigenze del cliente.

La grafite con rivestimento TaC viene creata rivestendo la superficie di un substrato di grafite ad elevata purezza con uno strato sottile di carburo di tantalio mediante un processo proprietario di deposizione chimica in fase vapore (CVD). Il vantaggio è mostrato nell'immagine seguente:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Il rivestimento in carburo di tantalio (TaC) ha attirato l'attenzione grazie al suo elevato punto di fusione fino a 3880°C, all'eccellente resistenza meccanica, durezza e resistenza agli shock termici, che lo rendono un'alternativa interessante ai processi di epitassia composti di semiconduttori con requisiti di temperatura più elevati, come il sistema Aixtron MOCVD e il processo epitassia LPE SiC. Ha anche un'ampia applicazione nel processo di crescita dei cristalli SiC con metodo PVT.

Caratteristiche principali:

Stabilità della temperatura

Purezza ultraelevata

Resistenza a H2, NH3, SiH4,Si

Resistenza allo stock termico

Forte adesione alla grafite

Copertura del rivestimento conforme

Dimensioni fino a 750 mm di diametro(L'unico produttore in Cina raggiunge queste dimensioni)

Applicazioni:

Porta-wafer

Suscettore di riscaldamento induttivo

Elemento riscaldante resistivo

Disco satellitare

Soffione della doccia

Anello guida

Ricevitore Epi LED

Ugello di iniezione

Anello di mascheramento

Scudo termico

Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametro del rivestimento in carburo di tantalio VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche del rivestimento TaC
Densità	14,3 (g/cm³)
Emissività specifica	0.3
Coefficiente di dilatazione termica	6.3 10-6/K
Durezza (HK)	2000 Hong Kong
Resistenza	1×10-5Ohm*cm
Stabilità termica	<2500 ℃
La dimensione della grafite cambia	-10~-20um
Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Dati EDX del rivestimento TaC

TaC coating EDX data

Dati sulla struttura cristallina del rivestimento TaC

Elemento	Percentuale atomica
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Media
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrino con rivestimento TaC Disco planetario con rivestimento TaC Piastra rivestita in TaC Piastra di rotazione del rivestimento TaC Suscettore del rivestimento TaC Copertura con rivestimento CVD TaC Anello di rivestimento CVD TaC Piastra di rivestimento TaC

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Mandrino rivestito in TaC

In qualità di produttore e fornitore professionale di mandrini con rivestimento TaC in Cina, il mandrino con rivestimento TaC di VeTek Semiconductor è progettato specificamente per forni per semiconduttori. Grazie alla resistenza alle alte temperature, all'inerzia chimica e alle prestazioni eccellenti, la tecnologia innovativa di Vetek Semiconductor fornisce una soluzione affidabile per l'industria manifatturiera dei semiconduttori per garantire standard di produzione di alta qualità. Crediamo che i nostri prodotti possano offrirti tecnologia avanzata e soluzioni di prodotto di alta qualità.

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Tubo di rivestimento TaC

In qualità di produttore e fornitore professionale di tubi di rivestimento TaC in Cina, il tubo di rivestimento TaC di VeTek Semiconductor è un componente chiave per la crescita di successo dei singoli cristalli di carburo di silicio. Grazie alla resistenza alle alte temperature, all'inerzia chimica e alle prestazioni eccellenti, garantisce la produzione di cristalli di alta qualità con risultati costanti. Affidati alle nostre soluzioni innovative per migliorare il processo di crescita dei cristalli SiC con il metodo PVT e ottenere risultati eccellenti. Benvenuti a contattarci.

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Riscaldatore del rivestimento TaC

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di riscaldatori per rivestimento TaC in Cina. Questo prodotto ha un punto di fusione estremamente elevato (circa 3880°C). L'elevato punto di fusione del riscaldatore di rivestimento TaC gli consente di funzionare a temperature estremamente elevate, in particolare nella crescita degli strati epitassiali di nitruro di gallio (GaN) nel processo di deposizione chimica in fase vapore di metallo organico (MOCVD). VeTek Semiconductor è impegnata a fornire tecnologie avanzate e soluzioni di prodotto per l'industria dei semiconduttori. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Rivestimento TAC CVD

VeTek Semiconductor è un produttore leader, innovatore e leader del rivestimento TAC CVD in Cina. Per molti anni ci siamo concentrati su vari prodotti di rivestimento CVD TAC come copertura di rivestimento CVD TaC, anello di rivestimento CVD TaC, supporto di rivestimento CVD TaC, ecc. VeTek Semiconductor supporta servizi di prodotto personalizzati e prezzi di prodotto soddisfacenti e attende con ansia i vostri ulteriori consultazione.

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Pezzo di ricambio del rivestimento TaC

VeTek Semiconductor è un produttore professionale di piastre di rivestimento TaC e altri pezzi di ricambio per rivestimento TaC in Cina. Il rivestimento TaC è attualmente utilizzato principalmente in processi come la crescita di cristalli singoli di carburo di silicio (metodo PVT), disco epitassiale (inclusa epitassia di carburo di silicio, epitassia LED), ecc. Combinato con la buona stabilità a lungo termine della piastra di rivestimento TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate è diventato il punto di riferimento per i pezzi di ricambio TaC Coating. Non vediamo l'ora che tu diventi il nostro partner a lungo termine.

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GaN su accettore epi SiC

VeTek Semiconductor è un produttore professionale di GaN su suscettore epi SiC, rivestimento CVD SiC e suscettore in grafite CVD TAC COATING in Cina. Tra questi, il GaN sul suscettore epi SiC svolge un ruolo vitale nell'elaborazione dei semiconduttori. Grazie alla sua eccellente conduttività termica, capacità di lavorazione ad alta temperatura e stabilità chimica, garantisce l'elevata efficienza e la qualità del materiale del processo di crescita epitassiale GaN. Attendiamo sinceramente con impazienza la vostra ulteriore consultazione.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di tantalio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di tantalio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.