Ricevitore rotante in grafite

Il suscettore rotante in grafite ad elevata purezza svolge un ruolo importante nella crescita epitassiale del nitruro di gallio (processo MOCVD). VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore leader di suscettori rotanti in grafite in Cina. Abbiamo sviluppato molti prodotti in grafite di elevata purezza basati su materiali di grafite di elevata purezza, che soddisfano pienamente i requisiti dell'industria dei semiconduttori. VeTek Semiconductor non vede l'ora di diventare il vostro partner nel suscettore rotante in grafite.

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Descrizione del prodotto

Schematic diagram of the working process of High purity graphite rotating susceptor

I suscettori rotanti in grafite ad elevata purezza vengono utilizzati nelle apparecchiature per la lavorazione dei materiali in ambienti ad alta temperatura e alto vuoto. Nella crescita epitassiale del nitruro di gallio (processo MOCVD), svolgono un ruolo di supporto nella rotazione del substrato. Il suscettore rotante in grafite di VeTekSemi presenta i seguenti vantaggi:

● Elevata purezza: Il contenuto di impurità nei suscettori rotanti in grafite ad elevata purezza è inferiore a 5 ppm. Questo livello di purezza della grafite può evitare il rilascio di impurità ad alte temperature per garantire la pulizia del processo di deposizione. Pertanto, non è necessario alcun rivestimento per soddisfare i requisiti di lavoro.

Grafite ad elevata purezza

● Eccellenti proprietà termiche: La grafite di elevata purezza ha un'eccellente conduttività termica e la sua conduttività termica è molto più elevata rispetto ad altri materiali. Il coefficiente di espansione termica è ridotto e può mantenere prestazioni stabili in caso di variazioni di temperatura.

● Buone proprietà meccaniche: La grafite ad elevata purezza ha una buona resistenza all'usura e tenacità, in grado di soddisfare i complessi requisiti del processo CVD.

● Eccellente conduttività: La conduttività è cento volte superiore a quella dei minerali non metallici generali.

● Stabilità chimica: Resiste alla corrosione di acidi, alcali e solventi organici

Inoltre, in qualità di produttore e fornitore leader di suscettore rotante in grafite ad elevata purezza in Cina, VeTek Semiconductor fornisce anche prodotti di alta qualitàSuscettore in grafite rivestito in SiC per MOCVD, Suscettore cilindrico rivestito in SiC, Ricevitore in grafite rivestita in TaCESuscettore di rivestimento MOCVD SiC.Semiconduttore VeTeksi impegna a fornire tecnologie avanzate e soluzioni di prodotto per l'industria dei semiconduttori e supporta anche servizi personalizzati. Siamo sinceramente lieti di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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