I forni di ossidazione e diffusione sono utilizzati in vari campi come dispositivi a semiconduttore, dispositivi discreti, dispositivi optoelettronici, dispositivi elettronici di potenza, celle solari e produzione di circuiti integrati su larga scala. Sono utilizzati per processi quali diffusione, ossidazione, ricottura, lega e sinterizzazione di wafer.
VeTek Semiconductor è un produttore leader specializzato nella produzione di componenti in grafite, carburo di silicio e quarzo di elevata purezza in forni di ossidazione e diffusione. Ci impegniamo a fornire componenti di forni di alta qualità per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico e siamo all'avanguardia nella tecnologia di rivestimento superficiale, come CVD-SiC, CVD-TaC, pirocarbonio, ecc.
Resistenza alle alte temperature (fino a 1600 ℃)
Eccellente conduttività termica e stabilità termica
Buona resistenza alla corrosione chimica
Basso coefficiente di dilatazione termica
Elevata resistenza e durezza
Lunga durata
Nei forni di ossidazione e diffusione, a causa della presenza di gas corrosivi e ad alta temperatura, molti componenti richiedono l'uso di materiali resistenti alle alte temperature e alla corrosione, tra cui il carburo di silicio (SiC) è una scelta comunemente utilizzata. I seguenti sono componenti comuni di carburo di silicio presenti nei forni di ossidazione e nei forni a diffusione:
Barca Di Wafer
La barca per wafer in carburo di silicio è un contenitore utilizzato per trasportare wafer di silicio, che può resistere alle alte temperature e non reagisce con i wafer di silicio.
Tubo del forno
Il tubo del forno è il componente principale del forno a diffusione, utilizzato per accogliere i wafer di silicio e controllare l'ambiente di reazione. I tubi del forno in carburo di silicio hanno eccellenti prestazioni di resistenza alle alte temperature e alla corrosione.
Piastra deflettore
Utilizzato per regolare il flusso d'aria e la distribuzione della temperatura all'interno del forno
Tubo di protezione per termocoppia
Utilizzato per proteggere le termocoppie per la misurazione della temperatura dal contatto diretto con gas corrosivi.
Pagaia a sbalzo
Le pale a sbalzo in carburo di silicio sono resistenti alle alte temperature e alla corrosione e vengono utilizzate per trasportare barchette di silicio o barchette di quarzo che trasportano wafer di silicio nei tubi del forno a diffusione.
Iniettore di gas
Utilizzato per introdurre il gas di reazione nel forno, deve essere resistente alle alte temperature e alla corrosione.
Portabarca
Il supporto per imbarcazioni per wafer in carburo di silicio viene utilizzato per fissare e supportare i wafer di silicio, che presentano vantaggi quali elevata resistenza, resistenza alla corrosione e buona stabilità strutturale.
Porta del forno
Rivestimenti o componenti in carburo di silicio possono essere utilizzati anche all'interno della porta del forno.
Termosifone
Gli elementi riscaldanti in carburo di silicio sono adatti per alte temperature, alta potenza e possono aumentare rapidamente la temperatura fino a oltre 1000 ℃.
Rivestimento SiC
Utilizzato per proteggere la parete interna dei tubi del forno, può aiutare a ridurre la perdita di energia termica e resistere ad ambienti difficili come alte temperature e alta pressione.
VeTek Semiconductor è un fornitore e produttore leader di crogioli al quarzo in Cina. i crogioli in quarzo di nostra produzione vengono utilizzati principalmente nel settore dei semiconduttori e nel fotovoltaico. Hanno le proprietà di pulizia e resistenza alle alte temperature. Inoltre, i nostri crogioli al quarzo per semiconduttori supportano i processi di produzione di estrazione delle barre di silicio, carico e scarico di materie prime in polisilicio nel processo di produzione di wafer di silicio semiconduttore e sono materiali di consumo chiave per la produzione di wafer di silicio. VeTek Semiconductor non vede l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
Per saperne di piùInvia richiestaIn qualità di fornitore professionale di trasportatori per wafer in carburo di silicio in Cina, il trasportatore per wafer SiC di VeTek Semiconductor è uno strumento appositamente utilizzato per la gestione e la lavorazione dei wafer a semiconduttore, che svolge un ruolo insostituibile nel processo dei wafer a semiconduttore. Benvenuti alla vostra ulteriore consultazione.
Per saperne di piùInvia richiestaIl piedistallo in silicone VeTek Semiconductor è un componente chiave nei processi di diffusione e ossidazione dei semiconduttori. Essendo una piattaforma dedicata per il trasporto di navicelle di silicio in forni ad alta temperatura, il piedistallo di silicio presenta molti vantaggi unici, tra cui una migliore uniformità della temperatura, una qualità ottimizzata dei wafer e prestazioni migliorate dei dispositivi a semiconduttore. Per ulteriori informazioni sul prodotto, non esitate a contattarci.
Per saperne di piùInvia richiestaIn qualità di fabbrica e fornitore su larga scala di prodotti con anelli di tenuta in ceramica SiC in Cina, l'anello di tenuta in ceramica SiC di VeTek Semiconductor ha una vasta gamma di applicazioni nel campo industriale grazie alla sua eccellente conduttività termica, all'eccezionale resistenza chimica e alla corrosione e all'elevata resistenza e rigidità. Accolga favorevolmente le vostre ulteriori richieste.
Per saperne di piùInvia richiestaIn qualità di produttore e fornitore leader di apparecchiature per forni a diffusione in Cina, il tubo per forno a diffusione SiC di VeTek Semiconductor ha una resistenza alla flessione significativamente elevata, un'eccellente resistenza all'ossidazione, alla corrosione, un'elevata resistenza all'usura ed eccellenti proprietà meccaniche alle alte temperature. Rendendolo un materiale indispensabile per le apparecchiature nelle applicazioni con forni a diffusione. VeTek Semiconductor è impegnata nella produzione e fornitura di tubi per forni a diffusione SiC di alta qualità e accoglie con favore le vostre ulteriori richieste.
Per saperne di piùInvia richiestaVeTek Semiconductor offre un supporto personalizzato per wafer SiC ad alta purezza. Realizzato in carburo di silicio ad alta purezza, è dotato di fessure per mantenere il wafer in posizione, impedendone lo scivolamento durante la lavorazione. Su richiesta è disponibile anche il rivestimento CVD SiC. In qualità di produttore e fornitore di semiconduttori forte e professionale, il trasportatore per wafer SiC ad elevata purezza di VeTek Semiconductor ha un prezzo competitivo e un'alta qualità. VeTek Semiconductor non vede l'ora di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.
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