> Prodotti > Ceramica al carburo di silicio > Forno di ossidazione e diffusione

Prodotti

Nuovi Prodotti

Cina Forno di ossidazione e diffusione Produttore, fornitore, fabbrica

I forni di ossidazione e diffusione sono utilizzati in vari campi come dispositivi a semiconduttore, dispositivi discreti, dispositivi optoelettronici, dispositivi elettronici di potenza, celle solari e produzione di circuiti integrati su larga scala. Sono utilizzati per processi quali diffusione, ossidazione, ricottura, lega e sinterizzazione di wafer.

VeTek Semiconductor è un produttore leader specializzato nella produzione di componenti in grafite, carburo di silicio e quarzo di elevata purezza in forni di ossidazione e diffusione. Ci impegniamo a fornire componenti di forni di alta qualità per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico e siamo all'avanguardia nella tecnologia di rivestimento superficiale, come CVD-SiC, CVD-TaC, pirocarbonio, ecc.

I vantaggi dei componenti in carburo di silicio VeTek Semiconductor:

Resistenza alle alte temperature (fino a 1600 ℃)

Eccellente conduttività termica e stabilità termica

Buona resistenza alla corrosione chimica

Basso coefficiente di dilatazione termica

Elevata resistenza e durezza

Lunga durata

Nei forni di ossidazione e diffusione, a causa della presenza di gas corrosivi e ad alta temperatura, molti componenti richiedono l'uso di materiali resistenti alle alte temperature e alla corrosione, tra cui il carburo di silicio (SiC) è una scelta comunemente utilizzata. I seguenti sono componenti comuni di carburo di silicio presenti nei forni di ossidazione e nei forni a diffusione:

Barca Di Wafer

La barca per wafer in carburo di silicio è un contenitore utilizzato per trasportare wafer di silicio, che può resistere alle alte temperature e non reagisce con i wafer di silicio.

Tubo del forno

Il tubo del forno è il componente principale del forno a diffusione, utilizzato per accogliere i wafer di silicio e controllare l'ambiente di reazione. I tubi del forno in carburo di silicio hanno eccellenti prestazioni di resistenza alle alte temperature e alla corrosione.

Piastra deflettore

Utilizzato per regolare il flusso d'aria e la distribuzione della temperatura all'interno del forno

Tubo di protezione per termocoppia

Utilizzato per proteggere le termocoppie per la misurazione della temperatura dal contatto diretto con gas corrosivi.

Pagaia a sbalzo

Le pale a sbalzo in carburo di silicio sono resistenti alle alte temperature e alla corrosione e vengono utilizzate per trasportare barchette di silicio o barchette di quarzo che trasportano wafer di silicio nei tubi del forno a diffusione.

Iniettore di gas

Utilizzato per introdurre il gas di reazione nel forno, deve essere resistente alle alte temperature e alla corrosione.

Portabarca

Il supporto per imbarcazioni per wafer in carburo di silicio viene utilizzato per fissare e supportare i wafer di silicio, che presentano vantaggi quali elevata resistenza, resistenza alla corrosione e buona stabilità strutturale.

Porta del forno

Rivestimenti o componenti in carburo di silicio possono essere utilizzati anche all'interno della porta del forno.

Termosifone

Gli elementi riscaldanti in carburo di silicio sono adatti per alte temperature, alta potenza e possono aumentare rapidamente la temperatura fino a oltre 1000 ℃.

Rivestimento SiC

Utilizzato per proteggere la parete interna dei tubi del forno, può aiutare a ridurre la perdita di energia termica e resistere ad ambienti difficili come alte temperature e alta pressione.

View as

Paletta a sbalzo in SiC ad alta purezza

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di pale cantilever SiC ad alta purezza in Cina. Le pale a sbalzo SiC ad elevata purezza sono comunemente utilizzate nei forni a diffusione di semiconduttori come piattaforme di trasferimento o caricamento di wafer. VeTek Semiconductor è impegnata a fornire tecnologie avanzate e soluzioni di prodotto per l'industria dei semiconduttori. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

Per saperne di più Invia richiesta

Barca per wafer a colonna verticale e piedistallo

In qualità di produttore e fornitore professionale di wafer boat e piedistalli a colonna verticale in Cina, il wafer boat e piedistallo a colonna verticale di Vetek Semiconductor è realizzato con materiali al quarzo o ceramica al carbonio silicio (SiC) di elevata purezza, con eccellente resistenza alle alte temperature, stabilità chimica e resistenza meccanica , ed è un componente fondamentale indispensabile nel processo di produzione dei semiconduttori. Benvenuti alla vostra ulteriore consultazione.

Per saperne di più Invia richiesta

Barca Wafer contigua

Vetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat è un'apparecchiatura avanzata per la lavorazione dei semiconduttori. La struttura del prodotto di Contiguous Wafer Boat è attentamente progettata per garantire un'elaborazione e una produzione efficienti di wafer di precisione. Vetek Semiconductor è impegnata a fornire soluzioni tecnologiche e di prodotto eccellenti per l'industria dei semiconduttori. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

Per saperne di più Invia richiesta

Portawafer orizzontale SiC

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore professionale di anelli guida rivestiti in TaC, supporti per wafer SiC orizzontali e suscettori rivestiti in SiC in Cina. Ci impegniamo a fornire un supporto tecnico perfetto e soluzioni di prodotto all'avanguardia per l'industria dei semiconduttori. Non esitare a contattarci.

Per saperne di più Invia richiesta

Barca per wafer SiC

Il Wafer Boat SiC di VeTek Semiconductor è un prodotto ad altissime prestazioni. La nostra Wafer Boat SiC viene solitamente utilizzata nei forni a diffusione di ossidazione dei semiconduttori per garantire che la temperatura sia distribuita uniformemente sul wafer e migliorare la qualità di lavorazione del wafer di silicio. La stabilità alle alte temperature e l'elevata conduttività termica dei materiali SiC garantiscono una lavorazione dei semiconduttori efficiente e affidabile. Ci impegniamo a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi e non vediamo l'ora di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.

Per saperne di più Invia richiesta

Tubo di processo SiC

VeTek Semiconductor fornisce tubi di processo SiC ad alte prestazioni per la produzione di semiconduttori. I nostri tubi di processo SiC eccellono nei processi di ossidazione e diffusione. Con qualità e lavorazione superiori, questi tubi offrono stabilità alle alte temperature e conduttività termica per un'efficiente lavorazione dei semiconduttori. Offriamo prezzi competitivi e cerchiamo di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.

Per saperne di più Invia richiesta

<1 2 >

In qualità di produttore e fornitore professionale Forno di ossidazione e diffusione in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Forno di ossidazione e diffusione avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.