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Cina Rivestimento in carburo di tantalio Produttore, fornitore, fabbrica

VeTek semiconductor è un produttore leader di materiali di rivestimento in carburo di tantalio per l'industria dei semiconduttori. La nostra offerta di prodotti principali comprende parti di rivestimento in carburo di tantalio CVD, parti di rivestimento in TaC sinterizzato per la crescita dei cristalli SiC o il processo di epitassia dei semiconduttori. Superato ISO9001, VeTek Semiconductor ha un buon controllo sulla qualità. VeTek Semiconductor si impegna a diventare innovatore nel settore del rivestimento in carburo di tantalio attraverso la ricerca continua e lo sviluppo di tecnologie iterative.

I prodotti principali sonoAnello deflettore con rivestimento in carburo di tantalio, anello di deviazione rivestito in TaC, parti a mezzaluna rivestite in TaC, disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio (Aixtron G10), crogiolo rivestito in TaC; Anelli rivestiti in TaC; Grafite porosa rivestita in TaC; Suscettore in grafite con rivestimento in carburo di tantalio; Anello guida rivestito in TaC; Piastra rivestita in carburo di tantalio TaC; Suscettore wafer rivestito in TaC; Anello di rivestimento TaC; Copertura in grafite con rivestimento TaC; Pezzo rivestito in TaCecc., la purezza è inferiore a 5 ppm e può soddisfare le esigenze del cliente.

La grafite con rivestimento TaC viene creata rivestendo la superficie di un substrato di grafite ad elevata purezza con uno strato sottile di carburo di tantalio mediante un processo proprietario di deposizione chimica in fase vapore (CVD). Il vantaggio è mostrato nell'immagine seguente:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Il rivestimento in carburo di tantalio (TaC) ha attirato l'attenzione grazie al suo elevato punto di fusione fino a 3880°C, all'eccellente resistenza meccanica, durezza e resistenza agli shock termici, che lo rendono un'alternativa interessante ai processi di epitassia composti di semiconduttori con requisiti di temperatura più elevati, come il sistema Aixtron MOCVD e il processo epitassia LPE SiC. Ha anche un'ampia applicazione nel processo di crescita dei cristalli SiC con metodo PVT.

Caratteristiche principali:

Stabilità della temperatura

Purezza ultra elevata

Resistenza a H2, NH3, SiH4,Si

Resistenza allo stock termico

Forte adesione alla grafite

Copertura del rivestimento conforme

Dimensioni fino a 750 mm di diametro(L'unico produttore in Cina raggiunge queste dimensioni)

Applicazioni:

Porta-wafer

Suscettore di riscaldamento induttivo

Elemento riscaldante resistivo

Disco satellitare

Soffione

Anello guida

Ricevitore Epi LED

Ugello di iniezione

Anello di mascheramento

Scudo termico

Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametro del rivestimento in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche del rivestimento TaC
Densità	14,3 (g/cm³)
Emissività specifica	0.3
Coefficiente di dilatazione termica	6.310^-6/K
Durezza (HK)	2000 Hong Kong
Resistenza	1×10^-5Ohm*cm
Stabilità termica	<2500 ℃
La dimensione della grafite cambia	-10~-20um
Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Dati EDX del rivestimento TaC：

TaC coating EDX data

Dati sulla struttura cristallina del rivestimento TaC

Elemento	Percentuale atomica
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Media
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrino con rivestimento TaC Disco planetario con rivestimento TaC Piastra rivestita in TaC Piastra di rotazione del rivestimento TaC Suscettore del rivestimento TaC Copertura con rivestimento CVD TaC Anello di rivestimento CVD TaC Piastra di rivestimento TaC

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Anello di rivestimento CVD TaC

L'anello di rivestimento CVD TaC di VeTek Semiconductor è un componente altamente vantaggioso progettato per soddisfare i severi requisiti dei processi di crescita dei cristalli di carburo di silicio (SiC). L'anello di rivestimento CVD TaC offre un'eccezionale resistenza alle alte temperature e inerzia chimica, rendendolo la scelta ideale per ambienti caratterizzati da temperature elevate e condizioni corrosive. Ci impegniamo a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi e non vediamo l'ora di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.

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LPE SiC EPI Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon di VeTek Semiconductor, un prodotto rivoluzionario progettato per migliorare i processi di epitassia SiC del reattore LPE. Questa soluzione all'avanguardia vanta diverse caratteristiche chiave che garantiscono prestazioni ed efficienza superiori in tutte le operazioni di produzione. Non vedo l'ora di instaurare una cooperazione a lungo termine con voi.

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Ricevitore EPI LED

VeTek Semiconductor è un fornitore leader di rivestimenti TaC e parti in grafite con rivestimento SiC. Siamo specializzati nella produzione di suscettori EPI LED all'avanguardia, essenziali per i processi di epitassia LED. Con una forte attenzione all'innovazione e alla qualità, offriamo soluzioni affidabili che soddisfano i severi requisiti dell'industria dei LED. Contattaci oggi per discutere le tue richieste e scoprire come i nostri prodotti possono migliorare i tuoi processi di produzione.

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Suscettore MOCVD con rivestimento TaC

VeTek Semiconductor è un fornitore completo coinvolto nella ricerca, sviluppo, produzione, progettazione e vendita di rivestimenti TaC e parti di rivestimento SiC. La nostra esperienza risiede nella produzione di suscettori MOCVD all'avanguardia con rivestimento TaC, che svolgono un ruolo vitale nel processo di epitassia del LED. Vi invitiamo a discutere con noi richieste e ulteriori informazioni.

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Suscettore LED UV profondo rivestito in TaC

VeTek Semiconductor è un fornitore integrato impegnato nella ricerca e sviluppo, produzione, progettazione e vendita di rivestimenti TaC. Siamo specializzati nella produzione di suscettori LED UV rivestiti in TaC all'avanguardia, che sono componenti cruciali nel processo di epitassia dei LED. Il nostro suscettore LED UV profondo rivestito in TaC offre elevata conduttività termica, elevata resistenza meccanica, migliore efficienza produttiva e protezione del wafer epitassiale. Benvenuti a contattarci.

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Mezzaluna rivestita in TaC al carburo di tantalio

VeTek Semiconductor è il principale produttore e fornitore in Cina di Halfmoon rivestito in carburo di tantalio TaC, siamo specializzati in ricerca e sviluppo e produzione, possiamo controllare bene la qualità e offrire un prezzo competitivo. Siete invitati a visitare la nostra fabbrica per ulteriori discussioni su una cooperazione a lungo termine.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di tantalio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di tantalio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.