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Cina Rivestimento in carburo di tantalio Produttore, fornitore, fabbrica

VeTek semiconductor è un produttore leader di materiali di rivestimento in carburo di tantalio per l'industria dei semiconduttori. La nostra offerta di prodotti principali comprende parti di rivestimento in carburo di tantalio CVD, parti di rivestimento in TaC sinterizzato per la crescita dei cristalli SiC o il processo di epitassia dei semiconduttori. Superato ISO9001, VeTek Semiconductor ha un buon controllo sulla qualità. VeTek Semiconductor si impegna a diventare innovatore nel settore del rivestimento in carburo di tantalio attraverso la ricerca continua e lo sviluppo di tecnologie iterative.

I prodotti principali sonoAnello deflettore con rivestimento in carburo di tantalio, anello di deviazione rivestito in TaC, parti a mezzaluna rivestite in TaC, disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio (Aixtron G10), crogiolo rivestito in TaC; Anelli rivestiti in TaC; Grafite porosa rivestita in TaC; Suscettore in grafite con rivestimento in carburo di tantalio; Anello guida rivestito in TaC; Piastra rivestita in carburo di tantalio TaC; Suscettore wafer rivestito in TaC; Anello di rivestimento TaC; Copertura in grafite con rivestimento TaC; Pezzo rivestito in TaCecc., la purezza è inferiore a 5 ppm e può soddisfare le esigenze del cliente.

La grafite con rivestimento TaC viene creata rivestendo la superficie di un substrato di grafite ad elevata purezza con uno strato sottile di carburo di tantalio mediante un processo proprietario di deposizione chimica in fase vapore (CVD). Il vantaggio è mostrato nell'immagine seguente:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Il rivestimento in carburo di tantalio (TaC) ha attirato l'attenzione grazie al suo elevato punto di fusione fino a 3880°C, all'eccellente resistenza meccanica, durezza e resistenza agli shock termici, che lo rendono un'alternativa interessante ai processi di epitassia composti di semiconduttori con requisiti di temperatura più elevati, come il sistema Aixtron MOCVD e il processo epitassia LPE SiC. Ha anche un'ampia applicazione nel processo di crescita dei cristalli SiC con metodo PVT.

Caratteristiche principali:

Stabilità della temperatura

Purezza ultra elevata

Resistenza a H2, NH3, SiH4,Si

Resistenza allo stock termico

Forte adesione alla grafite

Copertura del rivestimento conforme

Dimensioni fino a 750 mm di diametro(L'unico produttore in Cina raggiunge queste dimensioni)

Applicazioni:

Porta-wafer

Suscettore di riscaldamento induttivo

Elemento riscaldante resistivo

Disco satellitare

Soffione

Anello guida

Ricevitore Epi LED

Ugello di iniezione

Anello di mascheramento

Scudo termico

Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parametro del rivestimento in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche del rivestimento TaC
Densità	14,3 (g/cm³)
Emissività specifica	0.3
Coefficiente di dilatazione termica	6.310^-6/K
Durezza (HK)	2000 Hong Kong
Resistenza	1×10^-5Ohm*cm
Stabilità termica	<2500 ℃
La dimensione della grafite cambia	-10~-20um
Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Dati EDX del rivestimento TaC：

TaC coating EDX data

Dati sulla struttura cristallina del rivestimento TaC

Elemento	Percentuale atomica
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Media
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandrino con rivestimento TaC Disco planetario con rivestimento TaC Piastra rivestita in TaC Piastra di rotazione del rivestimento TaC Suscettore del rivestimento TaC Copertura con rivestimento CVD TaC Anello di rivestimento CVD TaC Piastra di rivestimento TaC

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Anello a tre petali rivestito in TaC

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di anelli a tre petali rivestiti in TaC in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento TaC e SiC da molti anni. I nostri prodotti hanno resistenza alla corrosione ed elevata resistenza. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Mandrino rivestito in carburo di tantalio

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader in Cina di mandrini rivestiti in carburo di tantalio. Siamo specializzati nel rivestimento TaC da molti anni. I nostri prodotti hanno un'elevata purezza e resistenza alle alte temperature fino a 2000 ℃. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine partner in Cina.

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Copertura rivestita in carburo di tantalio

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader in Cina di coperture rivestite in carburo di tantalio. Siamo specializzati nel rivestimento TaC e SiC da molti anni. I nostri prodotti hanno resistenza alla corrosione ed elevata resistenza. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Mezzaluna inferiore in grafite ultra pura

VeTek Semiconductor è un fornitore leader di Halfmoon inferiori in grafite ultra pura personalizzati in Cina, specializzato in materiali avanzati da molti anni. La nostra Halfmoon inferiore in grafite ultra pura è progettata specificamente per apparecchiature epitassiali SiC, garantendo prestazioni eccellenti. Realizzato in grafite importata ultrapura, offre affidabilità e durata. Visita la nostra fabbrica in Cina per esplorare in prima persona la nostra mezzaluna inferiore in grafite ultra pura di alta qualità.

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Parte superiore Halfmoon rivestita in SiC

VeTek Semiconductor è un fornitore leader di parti Upper Halfmoon personalizzate rivestite in SiC in Cina, specializzato in materiali avanzati da oltre 20 anni. La parte superiore Halfmoon di VeTek Semiconductor rivestita in SiC è progettata specificamente per apparecchiature epitassiali SiC e funge da componente cruciale nella camera di reazione. Realizzato in grafite ultrapura di grado semiconduttore, garantisce prestazioni eccellenti. Vi invitiamo a visitare la nostra fabbrica in Cina.

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Supporto per wafer epitassia in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è un fornitore leader di trasportatori per wafer epitassiali in carburo di silicio personalizzati in Cina. Siamo specializzati in materiali avanzati da oltre 20 anni. Offriamo un trasportatore per wafer epitassiali in carburo di silicio per il trasporto del substrato SiC, in crescita dello strato epitassiale SiC nel reattore epitassiale SiC. Questo supporto per wafer epitassiale in carburo di silicio è un'importante parte rivestita in SiC della parte a mezzaluna, resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione, resistenza all'usura. Vi diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica in Cina.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di tantalio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di tantalio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.