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Cina Rivestimento in carburo di tantalio Produttore, fornitore, fabbrica
VeTek semiconductor è un produttore leader di materiali di rivestimento in carburo di tantalio per l'industria dei semiconduttori. La nostra offerta di prodotti principali comprende parti di rivestimento in carburo di tantalio CVD, parti di rivestimento in TaC sinterizzato per la crescita dei cristalli SiC o il processo di epitassia dei semiconduttori. Superato ISO9001, VeTek Semiconductor ha un buon controllo sulla qualità. VeTek Semiconductor si impegna a diventare innovatore nel settore del rivestimento in carburo di tantalio attraverso la ricerca continua e lo sviluppo di tecnologie iterative.
I prodotti principali sonoAnello deflettore con rivestimento in carburo di tantalio, anello di deviazione rivestito in TaC, parti a mezzaluna rivestite in TaC, disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio (Aixtron G10), crogiolo rivestito in TaC; Anelli rivestiti in TaC; Grafite porosa rivestita in TaC; Suscettore in grafite con rivestimento in carburo di tantalio; Anello guida rivestito in TaC; Piastra rivestita in carburo di tantalio TaC; Suscettore wafer rivestito in TaC; Anello di rivestimento TaC; Copertura in grafite con rivestimento TaC; Pezzo rivestito in TaCecc., la purezza è inferiore a 5 ppm e può soddisfare le esigenze del cliente.
La grafite con rivestimento TaC viene creata rivestendo la superficie di un substrato di grafite ad elevata purezza con uno strato sottile di carburo di tantalio mediante un processo proprietario di deposizione chimica in fase vapore (CVD). Il vantaggio è mostrato nell'immagine seguente:
Il rivestimento in carburo di tantalio (TaC) ha attirato l'attenzione grazie al suo elevato punto di fusione fino a 3880°C, all'eccellente resistenza meccanica, durezza e resistenza agli shock termici, che lo rendono un'alternativa interessante ai processi di epitassia composti di semiconduttori con requisiti di temperatura più elevati, come il sistema Aixtron MOCVD e il processo epitassia LPE SiC. Ha anche un'ampia applicazione nel processo di crescita dei cristalli SiC con metodo PVT.
Caratteristiche principali:
●Stabilità della temperatura
●Purezza ultra elevata
●Resistenza a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistenza allo stock termico
●Forte adesione alla grafite
●Copertura del rivestimento conforme
● Dimensioni fino a 750 mm di diametro(L'unico produttore in Cina raggiunge queste dimensioni)
Applicazioni:
● Suscettore di riscaldamento induttivo
● Elemento riscaldante resistivo
● Scudo termico
Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:
Parametro del rivestimento in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor:
| Proprietà fisiche del rivestimento TaC | |
| Densità | 14,3 (g/cm³) |
| Emissività specifica | 0.3 |
| Coefficiente di dilatazione termica | 6.310-6/K |
| Durezza (HK) | 2000 Hong Kong |
| Resistenza | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilità termica | <2500 ℃ |
| La dimensione della grafite cambia | -10~-20um |
| Spessore del rivestimento | Valore tipico ≥20um (35um±10um) |
Dati EDX del rivestimento TaC：
Dati sulla struttura cristallina del rivestimento TaC:
| Elemento | Percentuale atomica | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Media | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Loro | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Anello guida rivestito in TaC
VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di anelli guida rivestiti TaC in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento ceramico da molti anni. Gli anelli guida rivestiti TaC sono utilizzati principalmente per guidare e controllare il flusso d'aria, migliorando la resa della crescita del singolo cristallo. Benvenuti a contattarci per ulteriori informazioni.
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Disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio
VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di dischi di rotazione planetaria rivestiti in carburo di tantalio in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento ceramico da molti anni. I nostri prodotti hanno un'elevata purezza e resistenza alle alte temperature. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
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Supporto per wafer in grafite rivestito in TaC
VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di supporti per wafer in grafite rivestito TaC in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento SiC e TaC da molti anni. Il nostro supporto per wafer in grafite rivestito TaC ha una maggiore resistenza alla temperatura e all'usura. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di tantalio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di tantalio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.
