Piastra di supporto del piedistallo con rivestimento TaC

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore cinese che produce principalmente suscettori di rivestimento TaC CVD, anello di ingresso, Wafer Chunck, supporto rivestito in TaC, piastra di supporto del piedistallo di rivestimento TaC con molti anni di esperienza. Spero di costruire rapporti d'affari con te.

Le ceramiche TaC hanno un punto di fusione fino a 3880 ℃, elevata durezza (durezza Mohs 9 ~ 10), elevata conduttività termica (22 W·m-1·K−1), elevata resistenza alla flessione (340 ~ 400 MPa) e piccola espansione termica coefficiente (6,6 × 10−6K−1) e mostrano un'eccellente stabilità termochimica ed eccellenti proprietà fisiche. Ha una buona compatibilità chimica e meccanica con la grafite e i materiali compositi C/C, quindi il rivestimento TaC è ampiamente utilizzato nella protezione termica aerospaziale, nella crescita di cristalli singoli e nei reattori epitassiali come Aixtron, reattore LPE EPI nell'industria dei semiconduttori. La grafite rivestita in TaC ha una migliore resistenza alla corrosione chimica rispetto all'inchiostro per pietra nuda o alla grafite rivestita in SiC, può essere utilizzata stabilmente a temperature elevate di 2200°, non reagisce con molti elementi metallici, è la terza generazione di scene di crescita di semiconduttori monocristallini, epitassia e incisione di wafer del rivestimento con le migliori prestazioni, può migliorare significativamente il processo di controllo della temperatura e delle impurità, preparazione di wafer in carburo di silicio di alta qualità e relativi wafer epitassiali. È particolarmente adatto per la crescita di monocristalli GaN o AlN in apparecchiature MOCVD e di monocristalli SiC in apparecchiature PVT, e la qualità del monocristallo cresciuto è ovviamente migliorata.

Rivestimento TaC e rivestimento SiC Pezzi di ricambio che possiamo realizzare:

Parametro del rivestimento TaC:

Filiera industriale:

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