Piastra di rotazione del rivestimento TaC

La piastra rotante del rivestimento TaC di VeTek Semiconductor ha una composizione ad elevata purezza, un contenuto di impurità inferiore a 5 ppm e una struttura densa e uniforme, ampiamente utilizzata nei sistemi LPE EPI, sistemi Aixtron, sistemi Nuflare, sistemi TEL CVD, sistemi VEECO, TSI sistemi.

Eccellenti proprietà meccaniche:

Durezza del rivestimento fino a 2300HV, con eccellente resistenza all'usura.

L'adesione tra il rivestimento e il substrato è forte e non è facile cadere o staccarsi.

Il rivestimento può ancora mantenere una buona stabilità strutturale alle alte temperature.

Eccellente resistenza alla corrosione:

Il materiale TaC stesso ha un'eccellente stabilità chimica e resistenza alla corrosione.

I rivestimenti dei semiconduttori VeTek funzionano bene in una varietà di ambienti con gas aggressivi.

Può proteggere efficacemente i componenti interni dell'apparecchiatura dai danni dovuti alla corrosione.

Elevata finitura superficiale:

Il semiconduttore VeTek utilizza un processo di rivestimento preciso per produrre la finitura desiderata.

La bassa rugosità superficiale aiuta a ridurre l'accumulo e la deposizione di particelle.

La consistenza del rivestimento è buona:

Semiconduttore VeTekdispone di un solido sistema di controllo della qualità per garantire prestazioni costanti tra i lotti.

Lo spessore del rivestimento è uniformemente distribuito e non sono presenti evidenti difetti locali.

Eccellenti prestazioni nelle applicazioni pratiche:

Il rivestimento TaC dei semiconduttori VeTek è ampiamente utilizzato in molti noti produttori di apparecchiature epitassiali in patria e all'estero.

Parametro fisico del prodotto della piastra rotante rivestita in TaC: