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Cina Rivestimento in carburo di tantalio Produttore, fornitore, fabbrica
VeTek semiconductor è un produttore leader di materiali di rivestimento in carburo di tantalio per l'industria dei semiconduttori. La nostra offerta di prodotti principali comprende parti di rivestimento in carburo di tantalio CVD, parti di rivestimento in TaC sinterizzato per la crescita dei cristalli SiC o il processo di epitassia dei semiconduttori. Superato ISO9001, VeTek Semiconductor ha un buon controllo sulla qualità. VeTek Semiconductor si impegna a diventare innovatore nel settore del rivestimento in carburo di tantalio attraverso la ricerca continua e lo sviluppo di tecnologie iterative.
I prodotti principali sonoAnello deflettore con rivestimento in carburo di tantalio, anello di deviazione rivestito in TaC, parti a mezzaluna rivestite in TaC, disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio (Aixtron G10), crogiolo rivestito in TaC; Anelli rivestiti in TaC; Grafite porosa rivestita in TaC; Suscettore in grafite con rivestimento in carburo di tantalio; Anello guida rivestito in TaC; Piastra rivestita in carburo di tantalio TaC; Suscettore wafer rivestito in TaC; Anello di rivestimento TaC; Copertura in grafite con rivestimento TaC; Pezzo rivestito in TaCecc., la purezza è inferiore a 5 ppm e può soddisfare le esigenze del cliente.
La grafite con rivestimento TaC viene creata rivestendo la superficie di un substrato di grafite ad elevata purezza con uno strato sottile di carburo di tantalio mediante un processo proprietario di deposizione chimica in fase vapore (CVD). Il vantaggio è mostrato nell'immagine seguente:
Il rivestimento in carburo di tantalio (TaC) ha attirato l'attenzione grazie al suo elevato punto di fusione fino a 3880°C, all'eccellente resistenza meccanica, durezza e resistenza agli shock termici, che lo rendono un'alternativa interessante ai processi di epitassia composti di semiconduttori con requisiti di temperatura più elevati, come il sistema Aixtron MOCVD e il processo epitassia LPE SiC. Ha anche un'ampia applicazione nel processo di crescita dei cristalli SiC con metodo PVT.
Caratteristiche principali:
Stabilità della temperatura
Purezza ultra elevata
Resistenza a H2, NH3, SiH4,Si
Resistenza allo stock termico
Forte adesione alla grafite
Copertura del rivestimento conforme
Dimensioni fino a 750 mm di diametro(L'unico produttore in Cina raggiunge queste dimensioni)
Applicazioni:
Porta-wafer
Suscettore di riscaldamento induttivo
Elemento riscaldante resistivo
Disco satellitare
Soffione
Anello guida
Ricevitore Epi LED
Ugello di iniezione
Anello di mascheramento
Scudo termico
Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:
Parametro del rivestimento in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor:
| Proprietà fisiche del rivestimento TaC | |
| Densità | 14,3 (g/cm³) |
| Emissività specifica | 0.3 |
| Coefficiente di dilatazione termica | 6.310-6/K |
| Durezza (HK) | 2000 Hong Kong |
| Resistenza | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilità termica | <2500 ℃ |
| La dimensione della grafite cambia | -10~-20um |
| Spessore del rivestimento | Valore tipico ≥20um (35um±10um) |
Dati EDX del rivestimento TaC：
Dati sulla struttura cristallina del rivestimento TaC
| Elemento | Percentuale atomica | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Media | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Piastra di rotazione del rivestimento TaC
La piastra rotante del rivestimento TaC di VeTek Semiconductor vanta un eccezionale rivestimento TaC, con il suo eccezionale rivestimento TaC, la piastra rotante del rivestimento TaC vanta una notevole resistenza alle alte temperature e inerzia chimica, che la distinguono dalle soluzioni tradizionali. Ci impegniamo a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi prezzi e non vedo l'ora di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.
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Piastra di rivestimento TaC
La piastra di rivestimento TaC di VeTek Semiconductor è un prodotto straordinario che offre caratteristiche e vantaggi eccezionali. Progettata con precisione e ingegnerizzata alla perfezione, la nostra piastra di rivestimento TaC è specificatamente adattata per varie applicazioni nei processi di crescita di cristalli singoli di carburo di silicio (SiC). Le dimensioni precise e la struttura robusta della piastra di rivestimento TaC ne facilitano l'integrazione nei sistemi esistenti, garantendo una perfetta compatibilità ed efficiente funzionamento. Le sue prestazioni affidabili e il rivestimento di alta qualità contribuiscono a risultati costanti e uniformi nelle applicazioni di crescita dei cristalli SiC. Ci impegniamo a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi e non vediamo l'ora ......
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Copertura con rivestimento CVD TaC
La copertura del rivestimento CVD TaC fornita da VeTek Semiconductor è un componente altamente specializzato progettato specificamente per applicazioni impegnative. Con le sue funzionalità avanzate e prestazioni eccezionali, la nostra copertura di rivestimento CVD TaC offre numerosi vantaggi chiave. La nostra copertura di rivestimento CVD TaC fornisce la protezione e le prestazioni necessarie per il successo. Non vediamo l'ora di esplorare una potenziale collaborazione con te!
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Suscettore planetario con rivestimento TaC
Il suscettore planetario con rivestimento VeTek Semiconductor'TaC è un prodotto eccezionale per le apparecchiature epitassia Aixtron. Il robusto rivestimento TaC offre un'eccellente resistenza alle alte temperature e inerzia chimica. Questa combinazione unica garantisce prestazioni affidabili e una lunga durata, anche in ambienti difficili. VeTek si impegna a fornire prodotti di alta qualità e a fungere da partner a lungo termine nel mercato cinese con prezzi competitivi.
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Piastra di supporto del piedistallo con rivestimento TaC
La piastra di supporto del piedistallo con rivestimento TaC di VeTek Semiconductor è un prodotto di alta precisione progettato per soddisfare i requisiti specifici dei processi di epitassia dei semiconduttori. Grazie al rivestimento TaC, alla resistenza alle alte temperature e all'inerzia chimica, il nostro prodotto consente di produrre strati EPI di alta qualità. Ci impegniamo a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi e non vediamo l'ora di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.
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Mandrino con rivestimento TaC
Il mandrino con rivestimento TaC di VeTek Semiconductor presenta un rivestimento TaC di alta qualità, noto per la sua eccezionale resistenza alle alte temperature e inerzia chimica, in particolare nei processi di epitassia (EPI) al carburo di silicio (SiC). Con le sue caratteristiche eccezionali e prestazioni superiori, il nostro mandrino con rivestimento TaC offre numerosi vantaggi chiave. Ci impegniamo a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi e non vediamo l'ora di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.
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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di tantalio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di tantalio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.
