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Cina Rivestimento in carburo di tantalio Produttore, fornitore, fabbrica
VeTek semiconductor è un produttore leader di materiali di rivestimento in carburo di tantalio per l'industria dei semiconduttori. La nostra offerta di prodotti principali comprende parti di rivestimento in carburo di tantalio CVD, parti di rivestimento in TaC sinterizzato per la crescita dei cristalli SiC o il processo di epitassia dei semiconduttori. Superato ISO9001, VeTek Semiconductor ha un buon controllo sulla qualità. VeTek Semiconductor si impegna a diventare innovatore nel settore del rivestimento in carburo di tantalio attraverso la ricerca continua e lo sviluppo di tecnologie iterative.
I prodotti principali sonoAnello deflettore con rivestimento in carburo di tantalio, anello di deviazione rivestito in TaC, parti a mezzaluna rivestite in TaC, disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio (Aixtron G10), crogiolo rivestito in TaC; Anelli rivestiti in TaC; Grafite porosa rivestita in TaC; Suscettore in grafite con rivestimento in carburo di tantalio; Anello guida rivestito in TaC; Piastra rivestita in carburo di tantalio TaC; Suscettore wafer rivestito in TaC; Anello di rivestimento TaC; Copertura in grafite con rivestimento TaC; Pezzo rivestito in TaCecc., la purezza è inferiore a 5 ppm e può soddisfare le esigenze del cliente.
La grafite con rivestimento TaC viene creata rivestendo la superficie di un substrato di grafite ad elevata purezza con uno strato sottile di carburo di tantalio mediante un processo proprietario di deposizione chimica in fase vapore (CVD). Il vantaggio è mostrato nell'immagine seguente:
Il rivestimento in carburo di tantalio (TaC) ha attirato l'attenzione grazie al suo elevato punto di fusione fino a 3880°C, all'eccellente resistenza meccanica, durezza e resistenza agli shock termici, che lo rendono un'alternativa interessante ai processi di epitassia composti di semiconduttori con requisiti di temperatura più elevati, come il sistema Aixtron MOCVD e il processo epitassia LPE SiC. Ha anche un'ampia applicazione nel processo di crescita dei cristalli SiC con metodo PVT.
Caratteristiche principali:
Stabilità della temperatura
Purezza ultra elevata
Resistenza a H2, NH3, SiH4,Si
Resistenza allo stock termico
Forte adesione alla grafite
Copertura del rivestimento conforme
Dimensioni fino a 750 mm di diametro(L'unico produttore in Cina raggiunge queste dimensioni)
Applicazioni:
Porta-wafer
Suscettore di riscaldamento induttivo
Elemento riscaldante resistivo
Disco satellitare
Soffione
Anello guida
Ricevitore Epi LED
Ugello di iniezione
Anello di mascheramento
Scudo termico
Rivestimento in carburo di tantalio (TaC) su una sezione trasversale microscopica:
Parametro del rivestimento in carburo di tantalio di VeTek Semiconductor:
| Proprietà fisiche del rivestimento TaC | |
| Densità | 14,3 (g/cm³) |
| Emissività specifica | 0.3 |
| Coefficiente di dilatazione termica | 6.310-6/K |
| Durezza (HK) | 2000 Hong Kong |
| Resistenza | 1×10-5Ohm*cm |
| Stabilità termica | <2500 ℃ |
| La dimensione della grafite cambia | -10~-20um |
| Spessore del rivestimento | Valore tipico ≥20um (35um±10um) |
Dati EDX del rivestimento TaC：
Dati sulla struttura cristallina del rivestimento TaC
| Elemento | Percentuale atomica | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Media | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Grafite porosa con rivestimento TaC
La grafite porosa con rivestimento TaC è un materiale avanzato per la lavorazione dei semiconduttori fornito da VeTek Semiconductor. La grafite porosa con rivestimento TaC combina i vantaggi della grafite porosa e del rivestimento in carburo di tantalio (TaC), con una buona conduttività termica e permeabilità ai gas. VeTek Semiconductor si impegna a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi e non vediamo l'ora di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.
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Copertura del rivestimento in carburo di tantalio
VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di coperture di rivestimento in carburo di tantalio in Cina. Ci concentriamo sulla fornitura di prodotti in carburo di tantalio di elevata purezza e resistenti alle alte temperature. La nostra copertura rivestita in carburo di tantalio ha prestazioni e affidabilità eccellenti e può proteggere efficacemente i materiali in ambienti corrosivi e a temperature estremamente elevate. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
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Anello deflettore rivestito in TaC
L'anello deflettore rivestito in TaC di VeTek Semiconductor è un componente altamente specializzato progettato per i processi di crescita dei cristalli SiC. Il rivestimento TaC fornisce un'eccellente resistenza alle alte temperature e inerzia chimica per far fronte alle alte temperature e agli ambienti corrosivi durante il processo di crescita dei cristalli. Ciò garantisce prestazioni stabili e una lunga durata del componente, riducendo la frequenza di sostituzione e i tempi di fermo. Ci impegniamo a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi e non vediamo l'ora di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.
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Tubo rivestito in carburo di tantalio per la crescita dei cristalli
VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader in Cina di tubi rivestiti in carburo di tantalio per la crescita dei cristalli. Siamo specializzati nel rivestimento ceramico da molti anni. I nostri prodotti hanno un'elevata purezza e resistenza alle alte temperature. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
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Anello rivestito in TaC per reattore epitassiale SiC
VeTek Semiconductor è un anello rivestito in TaC su larga scala per il produttore e innovatore di reattori epitassiali SiC in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento TaC da molti anni. I nostri prodotti hanno elevata purezza, elevata stabilità, eccellente resistenza alla corrosione, elevata forza di adesione. Guardiamo non vedo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
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Parte a mezzaluna rivestita in carburo di tantalio per LPE
VeTek Semiconductor è un componente Halfmoon rivestito in carburo di tantalio su larga scala per il produttore e innovatore LPE in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento TaC da molti anni. I nostri prodotti possono resistere a temperature superiori a 2000 gradi Celsius, prolungando la durata dei materiali di consumo. Non vediamo l'ora per diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.
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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di tantalio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di tantalio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.
