Anello a tre petali rivestito in TaC

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore professionale di anelli a tre petali rivestiti in TaC in Cina. L'anello a tre petali rivestito in TaC viene utilizzato nel sistema di deposizione Aixtron G10 per semiconduttori composti, epitassia ad alta produttività G10-GaN da 150/200 mm per potenza GaN e RF applicazioni.

Il rivestimento TaC di VeTek Semiconductor è una nuova generazione di materiale resistente alle alte temperature, con una migliore stabilità alle alte temperature rispetto al SiC, poiché un rivestimento resistente alla corrosione, un rivestimento resistente all'ossidazione, un rivestimento resistente all'usura, può essere utilizzato in ambienti superiori a 2000 ℃, ampiamente utilizzato in parti hot-end aerospaziali a temperatura ultraelevata, la terza generazione di crescita del cristallo singolo semiconduttore e altri campi.

Caratteristiche del prodotto:

1. Elevata purezza, contenuto di impurità < 5 ppm

2. Resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, alta densità, alta densità

3. È chimicamente inerte all'ammoniaca, all'idrogeno, al silano e al silicio ad alta temperatura e ha una buona stabilità termica.

4. La resistenza agli shock termici può accelerare il ciclo operativo

5. La forte adesione della grafite garantisce una lunga durata e nessuna delaminazione del rivestimento.

6. Tolleranze dimensionali rigorose.

Principali applicazioni:

1. Crescita epitassiale

2. Crescita del singolo cristallo

3. Deviazione della corrosione ad alta temperatura

4. Ugello resistente alle alte temperature e all'ossidazione

5. Pale di turbine a gas

Parametro del prodotto dell'anello a tre petali rivestito in TaC

Negozio di produzione di semiconduttori VeTek