Cina Rivestimento in carburo di silicio Produttore, fornitore, fabbrica

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità	3,21 g/cm³
Durezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m-1·K-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Supporto per wafer con rivestimento SiC

In qualità di produttore e fornitore professionale di supporti per wafer con rivestimento SiC in Cina, i supporti per wafer con rivestimento SiC di Vetek Semiconductor vengono utilizzati principalmente per migliorare l'uniformità di crescita dello strato epitassiale, garantendo la loro stabilità e integrità in ambienti ad alta temperatura e corrosivi. In attesa della tua richiesta.

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Recettore ALD

VeTek Semiconductor è un produttore professionale di susceptor ALD, rivestimento CVD SiC, base di grafite CVD TAC COATING in Cina. Vetek Semiconductor ha sviluppato e prodotto congiuntamente basi planetarie ALD rivestite in SiC con produttori di sistemi ALD per soddisfare gli elevati requisiti del processo ALD e distribuire uniformemente il flusso d'aria sul substrato. Saremo lieti di ulteriore collaborazione con voi.

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Soffitto rivestito in SiC CVD

In qualità di produttore e fornitore professionale di soffitti rivestiti CVD SiC in Cina, il soffitto rivestito CVD SiC di VeTek Semiconductor ha proprietà eccellenti come resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, elevata durezza e basso coefficiente di dilatazione termica, che lo rendono una scelta di materiale ideale nella produzione di semiconduttori. Saremo lieti di ulteriore collaborazione con voi.

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MOCVD LED Epi Suscettore

VeTek Semiconductor è un produttore professionale di suscettore Epi LED MOCVD, suscettore planetario ALD, suscettore in grafite rivestito TaC in Cina. Il suscettore Epi LED MOCVD di VeTek Semiconductor è progettato per applicazioni esigenti in apparecchiature epitassiali. L'elevata conduttività termica, la stabilità chimica e la durata sono fattori chiave per garantire un processo di crescita epitassiale stabile e una produzione di film semiconduttori di alta qualità. Saremo lieti di ulteriore collaborazione con voi.

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Suscettore ALD con rivestimento in SiC

In qualità di produttore e fornitore professionale di suscettori ALD con rivestimento SiC in Cina, il suscettore ALD con rivestimento SiC di VeTek Semiconductor è un componente di supporto utilizzato specificamente nel processo di deposizione di strati atomici (ALD). Svolge un ruolo chiave nelle apparecchiature ALD, garantendo l'uniformità e la precisione del processo di deposizione. Riteniamo che i nostri prodotti ALD Planetary Susceptor possano offrirvi soluzioni di alta qualità.

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Ricevitore Epi con rivestimento SiC

VeTek Semiconductor è un produttore, innovatore e leader leader di prodotti Epi Susceptor con rivestimento SiC in Cina. Per molti anni ci siamo concentrati su vari prodotti di rivestimento SiC come il suscettore Epi con rivestimento SiC, il supporto per wafer con rivestimento SiC, il suscettore con rivestimento SiC, il suscettore ALD con rivestimento SiC, ecc. VeTek Semiconductor si impegna a fornire tecnologie avanzate e soluzioni di prodotto per i semiconduttori industria. Accolga favorevolmente la vostra ulteriore consultazione.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di silicio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.