Cina Rivestimento in carburo di silicio Produttore, fornitore, fabbrica

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità	3,21 g/cm³
Durezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m-1·K-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Supporto rivestito in SiC per LPE PE2061S

VeTek Semiconductor è uno dei principali produttori e innovatori di supporti rivestiti SiC per LPE PE2061S in Cina. Siamo specializzati in materiali di rivestimento SiC da molti anni. Offriamo un supporto rivestito SiC per LPE PE2061S progettato specificamente per il reattore epitassia al silicio LPE. Questo supporto rivestito in SiC per LPE PE2061S è il suscettore del fondo della canna. Può resistere a temperature elevate di 1600 gradi Celsius, prolungare la durata del pezzo di ricambio in grafite. Benvenuti a inviarci richieste.

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Piastra superiore rivestita in SiC per LPE PE2061S

VeTek Semiconductor è uno dei principali produttori e innovatori di piastre superiori rivestite in SiC per LPE PE2061S in Cina. Siamo specializzati in materiali di rivestimento SiC da molti anni. Offriamo una piastra superiore rivestita in SiC per LPE PE2061S progettata specificamente per il reattore epitassia al silicio LPE. Questa piastra superiore rivestita in SiC per LPE PE2061S è la parte superiore insieme al suscettore a cilindro. Questa piastra rivestita in SiC CVD vanta elevata purezza, eccellente stabilità termica e uniformità, che la rendono adatta alla coltivazione di strati epitassiali di alta qualità. Ti diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica in Cina.

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Suscettore cilindrico rivestito in SiC per LPE PE2061S

VeTek Semiconductor è uno dei principali produttori e innovatori di suscettori cilindrici rivestiti in SiC per LPE PE2061S in Cina. Siamo specializzati in materiali di rivestimento SiC da molti anni. Offriamo un suscettore cilindrico rivestito in SiC progettato specificamente per wafer LPE PE2061S da 4 pollici. Questo suscettore è dotato di un rivestimento durevole in carburo di silicio che migliora le prestazioni e la durata durante il processo LPE (epitassia a fase liquida). Vi diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica in Cina.

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Soffione doccia a gas SiC solido

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader in Cina di soffioni per doccia a gas SiC solido. Siamo specializzati in materiali semiconduttori da molti anni. Il design multiporosità del soffione per doccia a gas SiC solido di VeTek Semiconductor garantisce che il calore generato nel processo CVD possa essere disperso , assicurando che il substrato sia riscaldato in modo uniforme. Non vediamo l'ora di stabilire una collaborazione a lungo termine con voi in Cina.

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Processo di deposizione chimica in fase vapore Anello con bordo in SiC solido

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader in Cina di anelli per bordi SiC solidi per processi di deposizione di vapori chimici. Siamo specializzati in materiali semiconduttori da molti anni. L'anello per bordi SiC solidi di VeTek Semiconductor offre una migliore uniformità di incisione e un posizionamento preciso dei wafer se utilizzato con un mandrino elettrostatico , garantendo risultati di incisione coerenti e affidabili. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Anello di messa a fuoco in SiC solido

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader in Cina di anelli di messa a fuoco incisivi in SiC solido. Siamo specializzati in materiali SiC da molti anni. Il SiC solido è scelto come materiale per anelli di messa a fuoco grazie alla sua eccellente stabilità termochimica, elevata resistenza meccanica e resistenza al plasma erosione. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di silicio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.