Cina Rivestimento in carburo di silicio Produttore, fornitore, fabbrica

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità	3,21 g/cm³
Durezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m-1·K-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Mandrino per wafer in carburo di silicio

In qualità di produttore e fornitore leader di prodotti Chuck per wafer in carburo di silicio in Cina, il Chuck per wafer in carburo di silicio di VeTek Semiconductor svolge un ruolo insostituibile nel processo di crescita epitassiale con la sua eccellente resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione chimica e resistenza agli shock termici. Accolga favorevolmente la vostra ulteriore consultazione.

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Soffione doccia in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore leader di prodotti per soffioni per doccia in carburo di silicio in Cina. Il soffione doccia SiC ha un'eccellente tolleranza alle alte temperature, stabilità chimica, conduttività termica e buone prestazioni di distribuzione del gas, che possono ottenere una distribuzione uniforme del gas e migliorare la qualità della pellicola. Pertanto, viene solitamente utilizzato in processi ad alta temperatura come i processi di deposizione chimica da fase vapore (CVD) o deposizione fisica da fase vapore (PVD). Accolga favorevolmente la vostra ulteriore consultazione.

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Anello di tenuta in carburo di silicio

In qualità di produttore professionale di anelli di tenuta in carburo di silicio e fabbrica in Cina, l'anello di tenuta in carburo di silicio di VeTek Semiconductor è ampiamente utilizzato nelle apparecchiature per la lavorazione dei semiconduttori grazie alla sua eccellente resistenza al calore, resistenza alla corrosione, resistenza meccanica e conduttività termica. È particolarmente adatto per processi che coinvolgono alte temperature e gas reattivi come CVD, PVD e incisione al plasma, ed è una scelta di materiale chiave nel processo di produzione dei semiconduttori. Le vostre ulteriori richieste sono benvenute.

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Porta wafer rivestito in SiC

VeTek Semiconductor è un produttore professionale e leader di prodotti porta wafer rivestiti SiC in Cina. Il supporto per wafer rivestito in SiC è un supporto per wafer per il processo di epitassia nella lavorazione dei semiconduttori. Si tratta di un dispositivo insostituibile che stabilizza il wafer e garantisce la crescita uniforme dello strato epitassiale. Accolga favorevolmente la vostra ulteriore consultazione.

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Porta wafer Epi

VeTek Semiconductor è un produttore e fabbrica professionale di supporti per wafer Epi in Cina. Epi Wafer Holder è un supporto per wafer per il processo di epitassia nella lavorazione dei semiconduttori. È uno strumento chiave per stabilizzare il wafer e garantire una crescita uniforme dello strato epitassiale. È ampiamente utilizzato nelle apparecchiature per epitassia come MOCVD e LPCVD. È un dispositivo insostituibile nel processo di epitassia. Accolga favorevolmente la vostra ulteriore consultazione.

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Porta wafer satellitare Aixtron

In qualità di produttore e innovatore professionale di prodotti Aixtron Satellite Wafer Carrier in Cina, Aixtron Satellite Wafer Carrier di VeTek Semiconductor è un wafer carrier utilizzato nelle apparecchiature AIXTRON, utilizzato principalmente nei processi MOCVD nella lavorazione dei semiconduttori ed è particolarmente adatto per alte temperature e alta precisione processi di lavorazione dei semiconduttori. Il supporto può fornire un supporto stabile del wafer e una deposizione uniforme della pellicola durante la crescita epitassiale MOCVD, che è essenziale per il processo di deposizione degli strati. Accolga favorevolmente la vostra ulteriore consultazione.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di silicio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.