Ricevitore Epi con rivestimento SiC

VeTek Semiconductor è un produttore, innovatore e leader leader di prodotti Epi Susceptor con rivestimento SiC in Cina. Per molti anni ci siamo concentrati su vari prodotti di rivestimento SiC come il suscettore Epi con rivestimento SiC, il supporto per wafer con rivestimento SiC, il suscettore con rivestimento SiC, il suscettore ALD con rivestimento SiC, ecc. VeTek Semiconductor si impegna a fornire tecnologie avanzate e soluzioni di prodotto per i semiconduttori industria. Accolga favorevolmente la vostra ulteriore consultazione.

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Descrizione del prodotto

Vetek Semiconductor è un produttore professionale in Cina di suscettore Epi con rivestimento SiC.

Il rivestimento SiC Epi Susceptor di VeTek Semiconductor è realizzato in grafite e carburo di silicio. Questo prodotto di rivestimento SiC utilizza grafite importata, che ha prestazioni più stabili e una lunga durata ed è molto apprezzato dai nostri clienti europei e americani. Allo stesso tempo, la concentrazione del suscettore Epi del rivestimento SiC è inferiore a 5 ppm e l'uniformità è molto buona. Dopo continui aggiornamenti tecnologici, VeTek Semiconductor utilizza un nuovo processo per formare una buona corrispondenza tra il coefficiente di espansione termica del rivestimento SiC e i materiali in grafite.

Il rivestimento SiC Epi Susceptor è utilizzato appositamente in ambienti ad alta temperatura e corrosivi nelle apparecchiature a semiconduttore. Il suscettore Epi con rivestimento SiC è comunemente utilizzato in apparecchiature come AIXTRON, in particolare nel processo di epitassia ultravioletta profonda (epitassia DUV), svolgendo un ruolo chiave.

Nel processo di epitassia ultravioletta profonda (DUV Epitaxy), combinato con l'eccellente resistenza alle alte temperature e alla resistenza alla corrosione del rivestimento SiC Epi Susceptor, il rivestimento SiC Epi Susceptor viene solitamente installato attorno alla camera di reazione nell'apparecchiatura AIXTRON come supporto durante il processo di epitassia da danneggiare o contaminare l'apparecchiatura.

Questo suscettore Epi con rivestimento SiC è progettato per l'epitassia ultravioletta profonda. Controlliamo rigorosamente il rivestimento in carburo di silicio, incorporiamo la tecnologia dello strato tampone per ridurre i problemi causati dalle differenze nei coefficienti di dilatazione termica tra i rivestimenti in grafite e in carburo di silicio, prolungando così la durata del prodotto. Attualmente, il nostro prodotto ha ricevuto numerosi riconoscimenti ed è riconosciuto come uno dei migliori sul mercato nazionale.

In qualità di leader del settore nei prodotti di rivestimento SiC, VeTek Semiconductor supporta servizi di personalizzazione dei prodotti e prezzi dei prodotti soddisfacenti e attende con impazienza la vostra ulteriore consulenza.