Cina Rivestimento in carburo di silicio Produttore, fornitore, fabbrica

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.

Parti del reattore che possiamo realizzare:

Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parametro del rivestimento in carburo di silicio VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura cristallina	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità	3,21 g/cm³
Durezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica	300W·m-1·K-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Reattore EPI SiC LPE Halfmoon

VeTek Semiconductor è un produttore professionale di reattori LPE Halfmoon SiC EPI, innovatore e leader in Cina. LPE Halfmoon SiC EPI Reactor è un dispositivo specificamente progettato per la produzione di strati epitassiali di carburo di silicio (SiC) di alta qualità, utilizzati principalmente nell'industria dei semiconduttori. VeTek Semiconductor si impegna a fornire tecnologie leader e soluzioni di prodotto per l'industria dei semiconduttori e accoglie con favore le vostre ulteriori richieste.

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Recettore Aixtron MOCVD

In qualità di produttore e fornitore professionale di susceptor Aixtron MOCVD in Cina, il susceptor Aixtron MOCVD di Vetek Semiconductor è ampiamente utilizzato nel processo di deposizione di film sottile della produzione di semiconduttori, in particolare nel processo MOCVD. Vetek Semiconductor si concentra sulla produzione e fornitura di suscettori Aixtron MOCVD ad alte prestazioni. Accolga favorevolmente la vostra indagine.

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riscaldatore in grafite con rivestimento ceramico in carburo di silicio

In qualità di produttore e fornitore professionale di riscaldatori in grafite con rivestimento ceramico in carburo di silicio in Cina, il riscaldatore in grafite con rivestimento ceramico in carburo di silicio è un riscaldatore ad alte prestazioni realizzato con un substrato di grafite e rivestito con rivestimento in ceramica di carbonio e silicio (SiC) sulla sua superficie. Grazie al design in materiale composito, questo prodotto fornisce eccellenti soluzioni di riscaldamento nella produzione di semiconduttori. Accolga favorevolmente la vostra indagine.

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riscaldatore con rivestimento ceramico in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è un produttore professionale di riscaldatori con rivestimento ceramico in carburo di silicio in Cina. Il riscaldatore con rivestimento ceramico in carburo di silicio è progettato principalmente per le alte temperature e gli ambienti difficili della produzione di semiconduttori. Il suo punto di fusione ultraelevato, l'eccellente resistenza alla corrosione e l'eccezionale conduttività termica determinano l'indispensabilità di questo prodotto nel processo di produzione dei semiconduttori. Ci auguriamo sinceramente di stabilire un rapporto commerciale a lungo termine con voi.

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Rivestimento ceramico al carburo di silicio

In qualità di produttore e fornitore professionale di rivestimenti ceramici al carburo di silicio in Cina, il rivestimento ceramico al carburo di silicio di Vetek Semiconductor è ampiamente utilizzato su componenti chiave delle apparecchiature di produzione di semiconduttori, in particolare quando sono coinvolti processi CVD e PECVD. Accolga favorevolmente la vostra indagine.

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Destinatario dell'EPI

Il suscettore EPI di VeTek Semiconductor è progettato per le impegnative applicazioni di apparecchiature epitassiali. La sua struttura in grafite rivestita in carburo di silicio (SiC) di elevata purezza offre un'eccellente resistenza al calore, uniformità termica uniforme per spessore e resistenza costanti dello strato epitassiale e resistenza chimica di lunga durata. Non vediamo l'ora di collaborare con voi.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Rivestimento in carburo di silicio in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Rivestimento in carburo di silicio avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.