Rivestimento ceramico al carburo di silicio

Vetek Semiconduttore Rivestimento ceramico al carburo di silicioè un rivestimento protettivo ad alte prestazioni realizzato in materiale di carburo di silicio (SiC) estremamente duro e resistente all'usura, che fornisce un'eccellente resistenza alla corrosione chimica e stabilità alle alte temperature. Queste proprietà sono cruciali nella produzione di semiconduttori, pertanto il rivestimento ceramico al carburo di silicio è ampiamente utilizzato su componenti chiave delle apparecchiature di produzione di semiconduttori.

Il ruolo specifico svolto dal rivestimento ceramico al carburo di silicio di Vetek Semiconductor nella produzione di semiconduttori ècome segue:

Migliora la durata delle apparecchiature: Il rivestimento ceramico al carburo di silicio fornisce un'eccellente protezione superficiale per le apparecchiature di produzione di semiconduttori grazie alla sua durezza e resistenza all'usura estremamente elevate. Soprattutto in ambienti di processo ad alta temperatura e altamente corrosivi, come la deposizione chimica da vapore (CVD) e l'incisione al plasma, il rivestimento ceramico in carburo di silicio può prevenire efficacemente danni alla superficie dell'apparecchiatura dovuti all'erosione chimica o all'usura fisica, prolungando così significativamente la durata di servizio dell'apparecchiatura. l'attrezzatura e riducendo i tempi di inattività causati da frequenti sostituzioni e manutenzioni.

Migliorare la purezza del processo: Nel processo di produzione dei semiconduttori, qualsiasi piccola contaminazione può causare difetti nel prodotto. L'inerzia chimica del rivestimento ceramico in carburo di silicio gli consente di rimanere stabile in condizioni estreme, impedire al materiale di rilasciare particelle o impurità e garantire la purezza dell'ambiente durante il processo. Ciò è particolarmente importante per le fasi di produzione che richiedono alta precisione ed elevata pulizia, come PECVD e impiantazione ionica.

Ottimizza la gestione termica: Nella lavorazione dei semiconduttori ad alta temperatura, come il trattamento termico rapido (RTP) e i processi di ossidazione, l'elevata conduttività termica del rivestimento ceramico al carburo di silicio consente una distribuzione uniforme della temperatura all'interno dell'apparecchiatura. Ciò aiuta a ridurre lo stress termico e la deformazione del materiale causata dalle fluttuazioni di temperatura, migliorando così la precisione e la coerenza della produzione del prodotto.

Supporta ambienti di processo complessi: Nei processi che richiedono un controllo dell'atmosfera complesso, come i processi di incisione ICP e PSS, la stabilità e la resistenza all'ossidazione del riscaldatore del rivestimento ceramico in carburo di silicio garantiscono prestazioni stabili dell'apparecchiatura nel funzionamento a lungo termine, riducendo il rischio di degrado del materiale o dell'attrezzatura danni dovuti a cambiamenti ambientali.

Vetek Semiconduttoresi concentra sulla produzione e fornitura di prestazioni elevateRivestimento ceramico al carburo di silicioe si impegna a fornire tecnologie avanzate e soluzioni di prodotto per l'industria dei semiconduttori.Speriamo sinceramente di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.

Proprietà fisiche fondamentali diRivestimento ceramico al carburo di silicio:

Negozi di rivestimento ceramico in carburo di silicio VeTek Semiconductor:

Panoramica della catena industriale dell'epitassia dei chip semiconduttori: