Destinatario dell'EPI

VeTek Semiconductor è un produttore leader professionale di ricevitori EPI in Cina, ricevitori planetari ALD e ricevitori in grafite rivestita in TaC.

Il suscettore EPI di VeTek Semiconductor è un componente importante della crescita epitassiale nel processo di produzione dei semiconduttori. La sua funzione principale è quella di supportare e riscaldare il wafer in modo che uno strato epitassiale di alta qualità possa crescere uniformemente sulla superficie del wafer.

I suscettori EPI di VeTek Semiconductors sono generalmente realizzati in grafite di elevata purezza e rivestiti con uno strato di carburo di silicio (SiC). Questo design presenta i seguenti vantaggi chiave:

Stabilità alle alte temperature: Il suscettore EPI può rimanere stabile in un ambiente ad alta temperatura, garantendo la crescita uniforme dello strato epitassiale.

Resistenza alla corrosione: Il rivestimento SiC ha un'eccellente resistenza alla corrosione e può resistere all'erosione dei gas chimici, prolungando la durata del vassoio.

Conduttività termica: L'elevata conduttività termica del materiale SiC garantisce una distribuzione uniforme della temperatura del wafer durante il riscaldamento, migliorando così la qualità dello strato epitassiale.

Corrispondenza del coefficiente di dilatazione termica: Il coefficiente di dilatazione termica del SiC è simile a quello della grafite, evitando il problema del distacco del rivestimento dovuto all'espansione e contrazione termica.

Proprietà fisiche di base diDestinatario dell'EPI:

Officina di produzione di rivestimenti CVD SiC:

Panoramica della catena industriale dell'epitassia dei chip semiconduttori: