Pezzo di ricambio del rivestimento TaC

Semiconduttore VeTekPiastra di rivestimento TaCè un materiale speciale ampiamente utilizzato nelsemiconduttoreprocesso di produzione. In combinazione con l'elevata durezza e resistenza all'usura, resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione, basso coefficiente di attrito e buona conduttività termica, la piastra di rivestimento TaC svolge un ruolo insostituibile in molti collegamenti della lavorazione dei semiconduttori.

In generale, le applicazioni diPiastre rivestite in TaCnella lavorazione dei semiconduttori sono i seguenti:

Substrato di crescita CVD/ALD: La resistenza alle alte temperature, la stabilità chimica e il basso coefficiente di attrito delle piastre rivestite con TaC le rendono substrati ideali per la crescita CVD/ALD. Può fornire un ambiente di crescita stabile per garantire l'uniformità e la densità del film.

Piastra per maschera di incisione: L'elevata durezza e resistenza alla corrosione delle piastre rivestite in TaC consente loro di resistere a processi ad alta energia come l'incisione al plasma, l'incisione delle piastre maschera, proteggendo la pellicola sottostante.

Tampone per lucidatura CMP: La resistenza all'usura e il basso coefficiente di attrito delle piastre rivestite in TaC le rendono materiali ideali per i tamponi di lucidatura CMP, che possono rimuovere efficacemente particelle e difetti sulla superficie della pellicola.

Tubo del forno ad alta temperatura: La resistenza alle alte temperature e alla corrosione delle piastre rivestite in TaC ne consente l'utilizzo come tubi nei forni ad alta temperatura per la ricottura ad alta temperatura, la diffusione e altri processi.

In combinazione con le caratteristiche del prodotto diPiastra di rivestimento TaC, determina che questo prodotto svolge un ruolo chiave insostituibile nel migliorare le prestazioni del dispositivo, prolungare la durata delle apparecchiature e migliorare l'efficienza della produzione. 

Come produttore professionale diGaN su accettore epi SiC, Grafite porosaEPiastra di rivestimento TaCin Cina, VeTek Semiconductor insiste sempre nel fornire servizi di prodotto personalizzati e si impegna a fornire al settore le migliori tecnologie e soluzioni di prodotto. Attendiamo sinceramente con impazienza la vostra ulteriore consultazione.

RIVESTIMENTO CVD TAC Parametri tecnici：

Negozi di ricambi TaC Coating：

Panoramica della catena industriale dell'epitassia dei chip semiconduttori：