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Cina Rivestimento in carburo di silicio Produttore, fornitore, fabbrica

VeTek Semiconductor è specializzata nella produzione di prodotti di rivestimento in carburo di silicio ultra puri, questi rivestimenti sono progettati per essere applicati a grafite purificata, ceramica e componenti metallici refrattari.

I nostri rivestimenti ad elevata purezza sono destinati principalmente all'uso nei settori dei semiconduttori e dell'elettronica. Fungono da strato protettivo per supporti wafer, suscettori ed elementi riscaldanti, proteggendoli dagli ambienti corrosivi e reattivi incontrati in processi come MOCVD ed EPI. Questi processi sono parte integrante della lavorazione dei wafer e della produzione dei dispositivi. Inoltre, i nostri rivestimenti sono particolarmente adatti per applicazioni in forni a vuoto e riscaldamento di campioni, dove si incontrano ambienti ad alto vuoto, reattivi e con ossigeno.

Noi di VeTek Semiconductor offriamo una soluzione completa con le nostre capacità avanzate di officina meccanica. Ciò ci consente di produrre i componenti di base utilizzando grafite, ceramica o metalli refrattari e di applicare internamente i rivestimenti ceramici SiC o TaC. Forniamo anche servizi di rivestimento per le parti fornite dai clienti, garantendo flessibilità per soddisfare le diverse esigenze.

I nostri prodotti di rivestimento in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati nell'epitassia Si, epitassia SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo di incisione, processo di incisione ICP/PSS, processo di vari tipi di LED, inclusi LED blu e verde, LED UV e UV profondo LED ecc., adattato alle apparecchiature LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e così via.


Parti del reattore che possiamo realizzare:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Il rivestimento in carburo di silicio offre diversi vantaggi esclusivi:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parametro del rivestimento in carburo di silicio VeTek Semiconductor:

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà Valore tipico
Struttura cristallina FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità 3,21 g/cm³
Durezza Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria 2~10μm
Purezza chimica 99,99995%
Capacità termica 640 J·kg-1·K-1
Temperatura di sublimazione 2700 ℃
Resistenza alla flessione 415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conducibilità termica 300W·m-1·K-1
Dilatazione termica (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


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Suscettore a barilotto in grafite rivestito in SiC per EPI

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VeTek Semiconductor è un produttore, fornitore ed esportatore professionale di suscettore a cilindro in grafite rivestito in SiC per EPI. Supportato da un team di professionisti e da una tecnologia all'avanguardia, VeTek Semiconductor può fornirti alta qualità a prezzi ragionevoli. vi diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica per ulteriori discussioni.

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Deflettore per crogiolo in grafite rivestito in SiC

Deflettore per crogiolo in grafite rivestito in SiC

VeTek Semiconductor vanta molti anni di esperienza nella produzione di deflettori per crogiolo in grafite rivestita in SiC di alta qualità. Disponiamo di un proprio laboratorio per la ricerca e lo sviluppo dei materiali, in grado di supportare i vostri progetti personalizzati con una qualità superiore. vi diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica per ulteriori discussioni.

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Suscettore epitassiale MOCVD per wafer da 4

Suscettore epitassiale MOCVD per wafer da 4".

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore professionale, impegnato a fornire suscettore epitassiale MOCVD di alta qualità per wafer da 4". Con una ricca esperienza nel settore e un team di professionisti, siamo in grado di fornire soluzioni esperte ed efficienti ai nostri clienti.

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Suscettore epitassiale in grafite GaN per G5

Suscettore epitassiale in grafite GaN per G5

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore professionale, impegnato a fornire suscettore in grafite epitassiale GaN di alta qualità per G5. abbiamo stabilito partnership stabili e a lungo termine con numerose aziende rinomate in patria e all'estero, guadagnandoci la fiducia e il rispetto dei nostri clienti.

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Blocco suscettore semiconduttore rivestito in SiC

Blocco suscettore semiconduttore rivestito in SiC

Il blocco suscettore semiconduttore di VeTek Semiconductor rivestito in SiC è un dispositivo altamente affidabile e durevole. È progettato per resistere alle alte temperature e agli ambienti chimici aggressivi mantenendo prestazioni stabili e una lunga durata. Grazie alle sue eccellenti capacità di processo, il semiconduttore Susceptor Block SiC Coated riduce la frequenza di sostituzione e manutenzione, migliorando così l'efficienza produttiva. Attendiamo con ansia l'opportunità di collaborare con voi.

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Suscettore MOCVD rivestito in SiC

Suscettore MOCVD rivestito in SiC

Il suscettore MOCVD rivestito in SiC di VeTek Semiconductor è un dispositivo con processo, durata e affidabilità eccellenti. Possono resistere ad ambienti chimici e ad alta temperatura, mantenere prestazioni stabili e una lunga durata, riducendo così la frequenza di sostituzione e manutenzione e migliorando l'efficienza produttiva. Il nostro suscettore epitassiale MOCVD è rinomato per la sua alta densità, eccellente planarità e eccellente controllo termico, che lo rendono l'attrezzatura preferita in ambienti di produzione difficili. Non vedo l'ora di collaborare con te.

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