Suscettore a barilotto in grafite rivestito in SiC per EPI

VeTek Semiconductor è un produttore, fornitore ed esportatore professionale di suscettore a cilindro in grafite rivestito in SiC per EPI. Supportato da un team di professionisti e da una tecnologia all'avanguardia, VeTek Semiconductor può fornirti alta qualità a prezzi ragionevoli. vi diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica per ulteriori discussioni.

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Descrizione del prodotto

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore cinese che produce principalmente suscettori a cilindro in grafite rivestiti in SiC per EPI con molti anni di esperienza. Spero di costruire rapporti d'affari con te. L'EPI (Epitassia) è un processo critico nella produzione di semiconduttori avanzati. Implica la deposizione di sottili strati di materiale su un substrato per creare strutture di dispositivi complessi. I suscettori a cilindro in grafite rivestiti in SiC per EPI sono comunemente usati come suscettori nei reattori EPI grazie alla loro eccellente conduttività termica e resistenza alle alte temperature. Con il rivestimento CVD-SiC, diventa più resistente alla contaminazione, all'erosione e allo shock termico. Ciò si traduce in una maggiore durata del suscettore e in una migliore qualità della pellicola.

Vantaggi del nostro suscettore a barilotto in grafite rivestito in SiC:

Contaminazione ridotta: la natura inerte del SiC impedisce alle impurità di aderire alla superficie del suscettore, riducendo il rischio di contaminazione delle pellicole depositate.

Maggiore resistenza all'erosione: il SiC è significativamente più resistente all'erosione rispetto alla grafite convenzionale, garantendo una maggiore durata del suscettore.

Stabilità termica migliorata: il SiC ha un'eccellente conduttività termica e può resistere alle alte temperature senza distorsioni significative.

Migliore qualità della pellicola: la migliore stabilità termica e la ridotta contaminazione si traducono in pellicole depositate di qualità superiore con migliore uniformità e controllo dello spessore.

Applicazioni:

I suscettori a cilindro in grafite rivestiti in SiC sono ampiamente utilizzati in varie applicazioni EPI, tra cui:

LED basati su GaN

Elettronica di potenza

Dispositivi optoelettronici

Transistor ad alta frequenza

Sensori

Parametro del prodotto del suscettore a barilotto di grafite rivestito in SiC

Proprietà fisiche della grafite isostatica
Proprietà	Unità	Valore tipico
Densità apparente	g/cm³	1.83
Durezza	HSD	58
Resistività elettrica	mΩ.m	10
Resistenza alla flessione	MPa	47
Resistenza alla compressione	MPa	103
Resistenza alla trazione	MPa	31
Modulo di Young	GPa	11.8
Dilatazione termica (CTE)	10-6K-1	4.6
Conduttività termica	W·m-1·K-1	130
Granulometria media	µm	8-10
Porosità	%	10
Contenuto di cenere	ppm	≤10 (dopo purificato)

Nota: prima del rivestimento verrà eseguita la prima purificazione, dopo il rivestimento verrà eseguita la seconda purificazione.

Proprietà fisiche di base del rivestimento SiC CVD
Proprietà	Valore tipico
Struttura di cristallo	FCC fase β policristallina, prevalentemente orientata (111).
Densità	3,21 g/cm³
Durezza	Durezza 2500 Vickers (carico 500 g)
Granulometria	2~10μm
Purezza chimica	99,99995%
Capacità termica	640 J·kg-1·K-1
Temperatura di sublimazione	2700 ℃
Resistenza alla flessione	415 MPa RT a 4 punti
Modulo di Young	Curvatura 4 punti 430 Gpa, 1300 ℃
Conduttività termica	300W·m-1·K-1
Dilatazione termica (CTE)	4,5×10-6K-1

Negozio di produzione di semiconduttori VeTek

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