Cina Processo di epitassia SiC Produttore, fornitore, fabbrica

Gli esclusivi rivestimenti in carburo di VeTek Semiconductor forniscono una protezione superiore per le parti in grafite nel processo epitassia SiC per la lavorazione di materiali semiconduttori e semiconduttori compositi esigenti. Il risultato è una maggiore durata dei componenti della grafite, la preservazione della stechiometria della reazione, l'inibizione della migrazione delle impurità all'epitassia e applicazioni di crescita dei cristalli, con conseguente aumento della resa e della qualità.

I nostri rivestimenti in carburo di tantalio (TaC) proteggono i componenti critici di forni e reattori ad alte temperature (fino a 2200°C) da ammoniaca calda, idrogeno, vapori di silicio e metalli fusi. VeTek Semiconductor dispone di un'ampia gamma di funzionalità di elaborazione e misurazione della grafite per soddisfare le vostre esigenze personalizzate, quindi possiamo offrire un rivestimento a pagamento o un servizio completo, con il nostro team di ingegneri esperti pronti a progettare la soluzione giusta per voi e la vostra applicazione specifica .

Cristalli semiconduttori composti

VeTek Semiconductor può fornire rivestimenti TaC speciali per vari componenti e supporti. Attraverso il processo di rivestimento leader del settore di VeTek Semiconductor, il rivestimento TaC può ottenere elevata purezza, stabilità alle alte temperature ed elevata resistenza chimica, migliorando così la qualità del prodotto degli strati cristallini di TaC/GaN ed EPl e prolungando la durata dei componenti critici del reattore.

Isolanti termici

Componenti per la crescita dei cristalli SiC, GaN e AlN tra cui crogioli, supporti per semi, deflettori e filtri. Assemblaggi industriali tra cui elementi riscaldanti resistivi, ugelli, anelli di schermatura e dispositivi di brasatura, componenti di reattori CVD epitassiali GaN e SiC inclusi supporti wafer, vassoi satellitari, soffioni doccia, cappucci e piedistalli, componenti MOCVD.

Scopo:

Supporto per wafer LED (diodo a emissione luminosa).

Ricevitore ALD (semiconduttore).

Recettore EPI (processo epitassia SiC)

Suscettore satellitare rivestito in TaC Suscettore e anello di rivestimento TaC Parti con rivestimento TaC Parti Halfmoon con rivestimento TaC

Confronto tra rivestimento SiC e rivestimento TaC:

	SiC	TaC
Caratteristiche principali	Purezza ultraelevata, eccellente resistenza al plasma	Eccellente stabilità alle alte temperature (conformità al processo ad alta temperatura)
Purezza	>99,9999%	>99,9999%
Densità (g/cm3)	3.21	15
Durezza (kg/mm2)	2900-3300	6.7-7.2
Resistività [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Conduttività termica (W/m-K)	200-360	22
Coefficiente di espansione termica (10-6/℃)	4.5-5	6.3
Applicazione	Attrezzatura per semiconduttori Maschera in ceramica (anello di messa a fuoco, soffione doccia, wafer fittizio)	Crescita di cristallo singolo SiC, Epi, Parti dell'attrezzatura LED UV

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Anello a tre petali rivestito in TaC

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di anelli a tre petali rivestiti in TaC in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento TaC e SiC da molti anni. I nostri prodotti hanno resistenza alla corrosione ed elevata resistenza. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Mandrino rivestito in carburo di tantalio

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader in Cina di mandrini rivestiti in carburo di tantalio. Siamo specializzati nel rivestimento TaC da molti anni. I nostri prodotti hanno un'elevata purezza e resistenza alle alte temperature fino a 2000 ℃. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine partner in Cina.

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Copertura rivestita in carburo di tantalio

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader in Cina di coperture rivestite in carburo di tantalio. Siamo specializzati nel rivestimento TaC e SiC da molti anni. I nostri prodotti hanno resistenza alla corrosione ed elevata resistenza. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Mezzaluna inferiore in grafite ultra pura

VeTek Semiconductor è un fornitore leader di Halfmoon inferiori in grafite ultra pura personalizzati in Cina, specializzato in materiali avanzati da molti anni. La nostra Halfmoon inferiore in grafite ultra pura è progettata specificamente per apparecchiature epitassiali SiC, garantendo prestazioni eccellenti. Realizzato in grafite importata ultrapura, offre affidabilità e durata. Visita la nostra fabbrica in Cina per esplorare in prima persona la nostra mezzaluna inferiore in grafite ultra pura di alta qualità.

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Parte superiore Halfmoon rivestita in SiC

VeTek Semiconductor è un fornitore leader di parti Upper Halfmoon personalizzate rivestite in SiC in Cina, specializzato in materiali avanzati da oltre 20 anni. La parte superiore Halfmoon di VeTek Semiconductor rivestita in SiC è progettata specificamente per apparecchiature epitassiali SiC e funge da componente cruciale nella camera di reazione. Realizzato in grafite ultrapura di grado semiconduttore, garantisce prestazioni eccellenti. Vi invitiamo a visitare la nostra fabbrica in Cina.

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Supporto per wafer epitassia in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è un fornitore leader di trasportatori per wafer epitassiali in carburo di silicio personalizzati in Cina. Siamo specializzati in materiali avanzati da oltre 20 anni. Offriamo un trasportatore per wafer epitassiali in carburo di silicio per il trasporto del substrato SiC, in crescita dello strato epitassiale SiC nel reattore epitassiale SiC. Questo supporto per wafer epitassiale in carburo di silicio è un'importante parte rivestita in SiC della parte a mezzaluna, resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione, resistenza all'usura. Vi diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica in Cina.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Processo di epitassia SiC in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Processo di epitassia SiC avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.