Cina Processo di epitassia SiC Produttore, fornitore, fabbrica

Gli esclusivi rivestimenti in carburo di VeTek Semiconductor forniscono una protezione superiore per le parti in grafite nel processo epitassia SiC per la lavorazione di materiali semiconduttori e semiconduttori compositi esigenti. Il risultato è una maggiore durata dei componenti della grafite, la preservazione della stechiometria della reazione, l'inibizione della migrazione delle impurità all'epitassia e applicazioni di crescita dei cristalli, con conseguente aumento della resa e della qualità.

I nostri rivestimenti in carburo di tantalio (TaC) proteggono i componenti critici di forni e reattori ad alte temperature (fino a 2200°C) da ammoniaca calda, idrogeno, vapori di silicio e metalli fusi. VeTek Semiconductor dispone di un'ampia gamma di funzionalità di elaborazione e misurazione della grafite per soddisfare le vostre esigenze personalizzate, quindi possiamo offrire un rivestimento a pagamento o un servizio completo, con il nostro team di ingegneri esperti pronti a progettare la soluzione giusta per voi e la vostra applicazione specifica .

Cristalli semiconduttori composti

VeTek Semiconductor può fornire rivestimenti TaC speciali per vari componenti e supporti. Attraverso il processo di rivestimento leader del settore di VeTek Semiconductor, il rivestimento TaC può ottenere elevata purezza, stabilità alle alte temperature ed elevata resistenza chimica, migliorando così la qualità del prodotto degli strati cristallini di TaC/GaN ed EPl e prolungando la durata dei componenti critici del reattore.

Isolanti termici

Componenti per la crescita dei cristalli SiC, GaN e AlN tra cui crogioli, supporti per semi, deflettori e filtri. Assemblaggi industriali tra cui elementi riscaldanti resistivi, ugelli, anelli di schermatura e dispositivi di brasatura, componenti di reattori CVD epitassiali GaN e SiC inclusi supporti wafer, vassoi satellitari, soffioni doccia, cappucci e piedistalli, componenti MOCVD.

Scopo:

Supporto per wafer LED (diodo a emissione luminosa).

Ricevitore ALD (semiconduttore).

Recettore EPI (processo epitassia SiC)

Suscettore satellitare rivestito in TaC Suscettore e anello di rivestimento TaC Parti con rivestimento TaC Parti Halfmoon con rivestimento TaC

Confronto tra rivestimento SiC e rivestimento TaC:

	SiC	TaC
Caratteristiche principali	Purezza ultraelevata, eccellente resistenza al plasma	Eccellente stabilità alle alte temperature (conformità al processo ad alta temperatura)
Purezza	>99,9999%	>99,9999%
Densità (g/cm3)	3.21	15
Durezza (kg/mm2)	2900-3300	6.7-7.2
Resistività [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Conduttività termica (W/m-K)	200-360	22
Coefficiente di espansione termica (10-6/℃)	4.5-5	6.3
Applicazione	Attrezzatura per semiconduttori Maschera in ceramica (anello di messa a fuoco, soffione doccia, wafer fittizio)	Crescita di cristallo singolo SiC, Epi, Parti dell'attrezzatura LED UV

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Supporto per wafer epitassia in carburo di silicio

VeTek Semiconductor è un fornitore leader di trasportatori per wafer epitassiali in carburo di silicio personalizzati in Cina. Siamo specializzati in materiali avanzati da oltre 20 anni. Offriamo un trasportatore per wafer epitassiali in carburo di silicio per il trasporto del substrato SiC, in crescita dello strato epitassiale SiC nel reattore epitassiale SiC. Questo supporto per wafer epitassiale in carburo di silicio è un'importante parte rivestita in SiC della parte a mezzaluna, resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione, resistenza all'usura. Vi diamo il benvenuto a visitare la nostra fabbrica in Cina.

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Copertura del rivestimento in carburo di tantalio

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di coperture di rivestimento in carburo di tantalio in Cina. Ci concentriamo sulla fornitura di prodotti in carburo di tantalio di elevata purezza e resistenti alle alte temperature. La nostra copertura rivestita in carburo di tantalio ha prestazioni e affidabilità eccellenti e può proteggere efficacemente i materiali in ambienti corrosivi e a temperature estremamente elevate. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Anello deflettore rivestito in TaC

L'anello deflettore rivestito in TaC di VeTek Semiconductor è un componente altamente specializzato progettato per i processi di crescita dei cristalli SiC. Il rivestimento TaC fornisce un'eccellente resistenza alle alte temperature e inerzia chimica per far fronte alle alte temperature e agli ambienti corrosivi durante il processo di crescita dei cristalli. Ciò garantisce prestazioni stabili e una lunga durata del componente, riducendo la frequenza di sostituzione e i tempi di fermo. Ci impegniamo a fornire prodotti di qualità a prezzi competitivi e non vediamo l'ora di essere il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Anello rivestito in TaC per reattore epitassiale SiC

VeTek Semiconductor è un anello rivestito in TaC su larga scala per il produttore e innovatore di reattori epitassiali SiC in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento TaC da molti anni. I nostri prodotti hanno elevata purezza, elevata stabilità, eccellente resistenza alla corrosione, elevata forza di adesione. Guardiamo non vedo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Parte a mezzaluna rivestita in carburo di tantalio per LPE

VeTek Semiconductor è un componente Halfmoon rivestito in carburo di tantalio su larga scala per il produttore e innovatore LPE in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento TaC da molti anni. I nostri prodotti possono resistere a temperature superiori a 2000 gradi Celsius, prolungando la durata dei materiali di consumo. Non vediamo l'ora per diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Disco di rotazione planetario rivestito in carburo di tantalio

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di dischi di rotazione planetaria rivestiti in carburo di tantalio in Cina. Siamo specializzati nel rivestimento ceramico da molti anni. I nostri prodotti hanno un'elevata purezza e resistenza alle alte temperature. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Processo di epitassia SiC in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Processo di epitassia SiC avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.