Cina Processo di epitassia SiC Produttore, fornitore, fabbrica

Gli esclusivi rivestimenti in carburo di VeTek Semiconductor forniscono una protezione superiore per le parti in grafite nel processo epitassia SiC per la lavorazione di materiali semiconduttori e semiconduttori compositi esigenti. Il risultato è una maggiore durata dei componenti della grafite, la preservazione della stechiometria della reazione, l'inibizione della migrazione delle impurità all'epitassia e applicazioni di crescita dei cristalli, con conseguente aumento della resa e della qualità.

I nostri rivestimenti in carburo di tantalio (TaC) proteggono i componenti critici di forni e reattori ad alte temperature (fino a 2200°C) da ammoniaca calda, idrogeno, vapori di silicio e metalli fusi. VeTek Semiconductor dispone di un'ampia gamma di funzionalità di elaborazione e misurazione della grafite per soddisfare le vostre esigenze personalizzate, quindi possiamo offrire un rivestimento a pagamento o un servizio completo, con il nostro team di ingegneri esperti pronti a progettare la soluzione giusta per voi e la vostra applicazione specifica .

Cristalli semiconduttori composti

VeTek Semiconductor può fornire rivestimenti TaC speciali per vari componenti e supporti. Attraverso il processo di rivestimento leader del settore di VeTek Semiconductor, il rivestimento TaC può ottenere elevata purezza, stabilità alle alte temperature ed elevata resistenza chimica, migliorando così la qualità del prodotto degli strati cristallini di TaC/GaN ed EPl e prolungando la durata dei componenti critici del reattore.

Isolanti termici

Componenti per la crescita dei cristalli SiC, GaN e AlN tra cui crogioli, supporti per semi, deflettori e filtri. Assemblaggi industriali tra cui elementi riscaldanti resistivi, ugelli, anelli di schermatura e dispositivi di brasatura, componenti di reattori CVD epitassiali GaN e SiC inclusi supporti wafer, vassoi satellitari, soffioni doccia, cappucci e piedistalli, componenti MOCVD.

Scopo:

Supporto per wafer LED (diodo a emissione luminosa).

Ricevitore ALD (semiconduttore).

Recettore EPI (processo epitassia SiC)

Suscettore satellitare rivestito in TaC Suscettore e anello di rivestimento TaC Parti con rivestimento TaC Parti Halfmoon con rivestimento TaC

Confronto tra rivestimento SiC e rivestimento TaC:

	SiC	TaC
Caratteristiche principali	Purezza ultraelevata, eccellente resistenza al plasma	Eccellente stabilità alle alte temperature (conformità al processo ad alta temperatura)
Purezza	>99,9999%	>99,9999%
Densità (g/cm3)	3.21	15
Durezza (kg/mm2)	2900-3300	6.7-7.2
Resistività [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Conduttività termica (W/m-K)	200-360	22
Coefficiente di espansione termica (10-6/℃)	4.5-5	6.3
Applicazione	Attrezzatura per semiconduttori Maschera in ceramica (anello di messa a fuoco, soffione doccia, wafer fittizio)	Crescita di cristallo singolo SiC, Epi, Parti dell'attrezzatura LED UV

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Supporto per wafer con rivestimento CVD TaC

In qualità di produttore e fabbrica professionale di trasportatori per wafer con rivestimento CVD TaC in Cina, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier è uno strumento per il trasporto di wafer appositamente progettato per ambienti ad alta temperatura e corrosivi nella produzione di semiconduttori. Questo prodotto ha un'elevata resistenza meccanica, eccellente resistenza alla corrosione e stabilità termica, fornendo la garanzia necessaria per la produzione di dispositivi a semiconduttore di alta qualità. Le vostre ulteriori richieste sono benvenute.

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Riscaldatore del rivestimento TaC

VeTek Semiconductor è un produttore e innovatore leader di riscaldatori per rivestimento TaC in Cina. Questo prodotto ha un punto di fusione estremamente elevato (circa 3880°C). L'elevato punto di fusione del riscaldatore di rivestimento TaC gli consente di funzionare a temperature estremamente elevate, in particolare nella crescita degli strati epitassiali di nitruro di gallio (GaN) nel processo di deposizione chimica in fase vapore di metallo organico (MOCVD). VeTek Semiconductor è impegnata a fornire tecnologie avanzate e soluzioni di prodotto per l'industria dei semiconduttori. Non vediamo l'ora di diventare il vostro partner a lungo termine in Cina.

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Mandrino rivestito in TaC

In qualità di produttore e fornitore professionale di mandrini con rivestimento TaC in Cina, il mandrino con rivestimento TaC di VeTek Semiconductor è progettato specificamente per forni per semiconduttori. Grazie alla resistenza alle alte temperature, all'inerzia chimica e alle prestazioni eccellenti, la tecnologia innovativa di Vetek Semiconductor fornisce una soluzione affidabile per l'industria manifatturiera dei semiconduttori per garantire standard di produzione di alta qualità. Crediamo che i nostri prodotti possano offrirti tecnologia avanzata e soluzioni di prodotto di alta qualità.

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Tubo di rivestimento TaC

In qualità di produttore e fornitore professionale di tubi di rivestimento TaC in Cina, il tubo di rivestimento TaC di VeTek Semiconductor è un componente chiave per la crescita di successo dei singoli cristalli di carburo di silicio. Grazie alla resistenza alle alte temperature, all'inerzia chimica e alle prestazioni eccellenti, garantisce la produzione di cristalli di alta qualità con risultati costanti. Affidati alle nostre soluzioni innovative per migliorare il processo di crescita dei cristalli SiC con il metodo PVT e ottenere risultati eccellenti. Benvenuti a contattarci.

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Rivestimento TAC CVD

VeTek Semiconductor è un produttore leader, innovatore e leader del rivestimento TAC CVD in Cina. Per molti anni ci siamo concentrati su vari prodotti di rivestimento CVD TAC come copertura di rivestimento CVD TaC, anello di rivestimento CVD TaC, supporto di rivestimento CVD TaC, ecc. VeTek Semiconductor supporta servizi di prodotto personalizzati e prezzi di prodotto soddisfacenti e attende con ansia i vostri ulteriori consultazione.

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Pezzo di ricambio del rivestimento TaC

VeTek Semiconductor è un produttore professionale di piastre di rivestimento TaC e altri pezzi di ricambio per rivestimento TaC in Cina. Il rivestimento TaC è attualmente utilizzato principalmente in processi come la crescita di cristalli singoli di carburo di silicio (metodo PVT), disco epitassiale (inclusa epitassia di carburo di silicio, epitassia LED), ecc. Combinato con la buona stabilità a lungo termine della piastra di rivestimento TaC, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate è diventato il punto di riferimento per i pezzi di ricambio TaC Coating. Non vediamo l'ora che tu diventi il nostro partner a lungo termine.

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In qualità di produttore e fornitore professionale Processo di epitassia SiC in Cina, abbiamo la nostra fabbrica. Se hai bisogno di servizi personalizzati per soddisfare le esigenze specifiche della tua regione o desideri acquistare Processo di epitassia SiC avanzati e durevoli prodotti in Cina, puoi lasciarci un messaggio.