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Barca per wafer in carburo di silicio per forno orizzontale
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Barca per wafer in carburo di silicio per forno orizzontale

VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore professionale in Cina di wafer in carburo di silicio per forni orizzontali, con anni di esperienza in ricerca e sviluppo e produzione, può controllare bene la qualità e offrire un prezzo competitivo. Puoi essere certo di acquistare da noi la barca per wafer in carburo di silicio per forno orizzontale.

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Descrizione del prodotto

Il wafer boat in carburo di silicio di alta qualità per forno orizzontale è offerto dal produttore cinese VeTek Semiconductor. Acquista la barca per wafer in carburo di silicio per forno orizzontale di alta qualità direttamente dalla fabbrica a un prezzo basso. La barca per wafer in carburo di silicio per forno orizzontale viene utilizzata nei tubi del forno per caricare e trasferire wafer durante i trattamenti ad alta temperatura. Grazie alle eccellenti proprietà dei materiali in carburo di silicio come resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione chimica e stabilità termica, sono ampiamente utilizzati in vari processi di trattamento termico come diffusione, ossidazione, CVD e ricottura.


Il wafer boat in carburo di silicio per forno orizzontale è realizzato in materiale di carburo di silicio e presenta le seguenti caratteristiche:

1. Elevata durezza e resistenza all'usura: il carburo di silicio ha una durezza seconda solo al diamante, il che lo rende altamente resistente all'usura. Ciò consente alle barche in carburo di silicio di resistere a ripetuti impatti meccanici e attriti, prolungandone la durata.

2. Resistenza alle alte temperature: il carburo di silicio ha un punto di fusione di 2730°C, rendendo le barche in carburo di silicio adatte per ambienti ad alta temperatura e vari processi di produzione di semiconduttori, come ossidazione e diffusione ad alta temperatura.

3. Basso coefficiente di dilatazione termica: il carburo di silicio ha un basso coefficiente di dilatazione termica, che aiuta a mantenere la stabilità dimensionale alle alte temperature, prevenendo la deformazione della barca e influenzando la precisione della lavorazione dei wafer.

4. Buona stabilità chimica: il carburo di silicio è resistente alla maggior parte dei prodotti chimici e non reagisce con le comuni soluzioni acide e alcaline, garantendo la sicurezza e la pulizia dei wafer.

Siamo in grado di produrre diversi tipi di imbarcazioni per wafer in carburo di silicio, ad esempio imbarcazioni per wafer orizzontali, imbarcazioni per wafer verticali e qualsiasi altra imbarcazione personalizzata.


Utilizziamo carburo di silicio ricristallizzato ad alta purezza con i seguenti parametri:

Proprietà fisiche del carburo di silicio ricristallizzato
Proprietà Valore tipico
Temperatura di lavoro (°C) 1600°C (con ossigeno), 1700°C (ambiente riducente)
Contenuto di SiC > 99,96%
Contenuti Si gratuiti <0,1%
Densità apparente 2,60-2,70 g/cm3
Porosità apparente < 16%
Resistenza alla compressione > 600MPa
Resistenza alla flessione a freddo 80-90MPa (20°C)
Resistenza alla flessione a caldo 90-100MPa (1400°C)
Dilatazione termica @1500°C 4.70 10-6/°C
Conducibilità termica @1200°C 23  W/m•K
Modulo elastico 240 GPa
Resistenza agli shock termici Estremamente buono


Applicazioni

La barca per wafer in carburo di silicio per forni orizzontali trova ampie applicazioni nell'industria dei semiconduttori e nel fotovoltaico:

Pulizia e incisione del wafer

Diffusione e ossidazione

Galvanotecnica e incisione

Lucidatura Chimico Meccanica (CMP)

Trattamento termico

Trasferimento e conservazione dei wafer


Negozio di produzione di semiconduttori VeTek


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