VeTek Semiconductor è un produttore e fornitore professionale in Cina di wafer in carburo di silicio per forni orizzontali, con anni di esperienza in ricerca e sviluppo e produzione, può controllare bene la qualità e offrire un prezzo competitivo. Puoi essere certo di acquistare da noi la barca per wafer in carburo di silicio per forno orizzontale.
Il wafer boat in carburo di silicio di alta qualità per forno orizzontale è offerto dal produttore cinese VeTek Semiconductor. Acquista la barca per wafer in carburo di silicio per forno orizzontale di alta qualità direttamente dalla fabbrica a un prezzo basso. La barca per wafer in carburo di silicio per forno orizzontale viene utilizzata nei tubi del forno per caricare e trasferire wafer durante i trattamenti ad alta temperatura. Grazie alle eccellenti proprietà dei materiali in carburo di silicio come resistenza alle alte temperature, resistenza alla corrosione chimica e stabilità termica, sono ampiamente utilizzati in vari processi di trattamento termico come diffusione, ossidazione, CVD e ricottura.
1. Elevata durezza e resistenza all'usura: il carburo di silicio ha una durezza seconda solo al diamante, il che lo rende altamente resistente all'usura. Ciò consente alle barche in carburo di silicio di resistere a ripetuti impatti meccanici e attriti, prolungandone la durata.
2. Resistenza alle alte temperature: il carburo di silicio ha un punto di fusione di 2730°C, rendendo le barche in carburo di silicio adatte per ambienti ad alta temperatura e vari processi di produzione di semiconduttori, come ossidazione e diffusione ad alta temperatura.
3. Basso coefficiente di dilatazione termica: il carburo di silicio ha un basso coefficiente di dilatazione termica, che aiuta a mantenere la stabilità dimensionale alle alte temperature, prevenendo la deformazione della barca e influenzando la precisione della lavorazione dei wafer.
4. Buona stabilità chimica: il carburo di silicio è resistente alla maggior parte dei prodotti chimici e non reagisce con le comuni soluzioni acide e alcaline, garantendo la sicurezza e la pulizia dei wafer.
Siamo in grado di produrre diversi tipi di imbarcazioni per wafer in carburo di silicio, ad esempio imbarcazioni per wafer orizzontali, imbarcazioni per wafer verticali e qualsiasi altra imbarcazione personalizzata.
Proprietà fisiche del carburo di silicio ricristallizzato | |
Proprietà | Valore tipico |
Temperatura di lavoro (°C) | 1600°C (con ossigeno), 1700°C (ambiente riducente) |
Contenuto di SiC | > 99,96% |
Contenuti Si gratuiti | <0,1% |
Densità apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosità apparente | < 16% |
Resistenza alla compressione | > 600MPa |
Resistenza alla flessione a freddo | 80-90MPa (20°C) |
Resistenza alla flessione a caldo | 90-100MPa (1400°C) |
Dilatazione termica @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Conducibilità termica @1200°C | 23 W/m•K |
Modulo elastico | 240 GPa |
Resistenza agli shock termici | Estremamente buono |
La barca per wafer in carburo di silicio per forni orizzontali trova ampie applicazioni nell'industria dei semiconduttori e nel fotovoltaico:
Pulizia e incisione del wafer
Diffusione e ossidazione
Galvanotecnica e incisione
Lucidatura Chimico Meccanica (CMP)
Trattamento termico
Trasferimento e conservazione dei wafer