Produzione di chip: un flusso di processo di MOSFET

Il processo di produzione dei chip comprende fotolitografia,acquaforte, diffusione, film sottile, impianto di ioni, lucidatura chimico-meccanica, pulizia, ecc. Questo articolo spiega approssimativamente come questi processi vengono integrati in sequenza per produrre un MOSFET.

1. Innanzitutto abbiamo asubstratocon una purezza del silicio fino al 99,9999999%.

2. Far crescere uno strato di pellicola di ossido sul substrato di cristallo di silicio.

3. Applicare il fotoresist mediante rotazione in modo uniforme.

4. La fotolitografia viene eseguita attraverso una fotomaschera per trasferire il motivo sulla fotomaschera al fotoresist.

5. Il fotoresist nell'area fotosensibile viene lavato via dopo lo sviluppo.

6. Incidere via il film di ossido che non è coperto dal fotoresist mediante attacco, in modo che il disegno fotolitografico venga trasferito sulwafer.

7. Pulire e rimuovere il fotoresist in eccesso.

8. Applicare un altro diluentepellicola di ossido. Successivamente, attraverso la fotolitografia e l'attacco di cui sopra, viene trattenuta solo la pellicola di ossido nella zona del gate.

9. Sviluppa uno strato di polisilicio su di esso

10. Come nel passaggio 7, utilizzare la fotolitografia e l'attacco per mantenere solo il polisilicio sullo strato di ossido di gate.

11.Coprire lo strato di ossido e il gate mediante pulizia fotolitografia, in modo che l'intero wafer siaimpiantato a ioni, e ci sarà una fonte e uno scarico.

12. Far crescere uno strato di pellicola isolante sul wafer.

13. Incidere i fori di contatto di source, gate e drain mediante fotolitografia e acquaforte.

14. Quindi depositare il metallo nell'area incisa, in modo che ci siano fili metallici conduttivi per source, gate e drain.

Infine, un MOSFET completo viene prodotto attraverso una combinazione di vari processi.

Infatti lo strato inferiore del chip è composto da un gran numero di transistor.

Schema di produzione MOSFET, source, gate, drain

Vari transistor formano porte logiche

Le porte logiche formano unità aritmetiche

Infine, si tratta di un chip delle dimensioni di un'unghia